中古 KLA / TENCOR FLX-2320A #293754089 を販売中

KLA/TENCOR FLX-2320Aは、半導体デバイスの特性評価とプロセス制御に信頼性の高い正確な結果を提供する高性能ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、自動化されたリニアモータ駆動プラットフォームを使用して高度な光学設計を採用し、ウェハサイズの全範囲にわたってデバイスの機能を正確かつ一貫して測定します。このユニットは、高スループットを確保しながら、迅速かつ正確な欠陥サイジング、イメージング、欠陥解析機能を提供するように設計されています。KLA FLX 2320 Aは、ウェーハ試験および計測において優れた解像度と精度を提供するために、多くの独自技術を搭載しています。このマシンは「、統合欠陥解析と検出」の略であるI-DADインターフェイスを備えており、詳細な欠陥解析とデバイスの特性評価を提供します。I-DADツールは、複数のカメラ画像と組み合わせたデュアルレーザースキャンと垂直照明を使用して、ウェーハ表面の3D画像を生成し、迅速かつ正確な欠陥サイズと識別を実現します。また、ウェーハ上の各デバイスの電気特性を時間領域反射計で測定することも可能です。これにより、モデルの計測機能が追加され、ウェーハ上の各デバイスの電気的性能に関する貴重な洞察が得られます。TDRチャネルを追加することで、ウェーハ上の各デバイスの電気特性をより深く理解することができます。さらに、TENCOR FLX-2320-Aには、欠陥を分類および分類するための高度な画像処理装置が装備されています。この機能により、欠陥の手動検査とソートにかかる時間を短縮し、精度とスループットを向上させます。システムはWindows 7によって動力を与えられ、256の灰色レベルの決断および1617 nm/pxまでの10ビット灰色のスケールCCDを含んでいます。ウェーハステージは最大650mmのウェーハに対応可能です。また、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスと、自動ウェハハンドリング用の組み込みウェハテイクアウトロボットも含まれています。結論として、KLA FLX-2320Aは、包括的なI-DADインターフェイス、TDRチャネル、画像処理機能、自動ウェハハンドリングマシンなどの高度な機能を提供する、強力で信頼性の高いウェハテストおよび計測ユニットです。このツールは、正確な結果と高スループットを確保するために、高性能のウェーハテスト、計測、欠陥解析機能を提供するように設計されています。