中古 KLA / TENCOR FLX-2320 #9371825 を販売中

KLA/TENCOR FLX-2320は、産業プロセス制御に使用できる精密な測定を可能にするように設計された、強力で正確なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ウェーハの測定において最高レベルの精度を提供する、最新の光学および電気技術の最新技術を搭載しています。このユニットは非常に汎用性が高く、シリコンからゲルマニウムまで幅広いウエハ材料をテストすることができ、最大直径200mmのウエハ径を持つ、小さな構造または大型の測定機能を備えています。厚さ、地形、表面汚染、表面欠陥、電気的および光学的特性など、ウェーハの幅広い物理特性を測定することができます。KLA FLX-2320には、AutoFocusなどの最先端技術が搭載されており、測定中に光学系を集中させることができます。TENCOR FLX 2320は、イメージングおよび検出技術の最新技術を活用し、高速で正確な測定結果を提供することができます。完璧な性能を確保するために、マシンはいくつかの特別な機能で設計されています。TENCOR FLX-2320は、非破壊ローカルレーザーと低エネルギーイオン爆撃（LEIB）を使用して、ブレイクアウトを正確に検出し、基板層の変化を特定し、以前の測定に影響を与えることなくピットとバンプを測定します。さらに、クローズドループスキャン制御により、試験中のウェーハの正確な位置決めが可能です。また、計測ツールはユーザーにとって非常に便利であるように設計されています。オートキャリブレーション機能により、FLX-2320は最低限のセットアップで使用でき、再校正する必要はありません。また、データ収集と分析機能を自動化し、結果の設定、比較、トラブルシューティングを容易に行うことができます。生産からプロセス管理、品質管理まで、KLA FLX 2320は正確で信頼性の高いウェハテストと計測を提供します。高度な技術と機能により、ウェーハの測定と分析において最高レベルの精度と精度を提供することができます。