中古 KLA / TENCOR FLX-2320 #9293253 を販売中

KLA / TENCOR FLX-2320
ID: 9293253
Thin film stress measurement system.
KLA/TENCOR FLX-2320は、インライン、高スループット動作用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。最先端のシステムは、高度な精密アルゴリズムと光学技術を組み合わせ、最高レベルの精度と信頼性を提供します。KLA FLX-2320は、高度な欠陥検出アルゴリズムを備えた高速フルウェハスキャンを提供し、リアルタイムの自動欠陥分類を提供します。これにより、ユーザーは幅広いプロセス、材料、歩留まり管理の問題に対処することができます。TENCOR FLX 2320の高度な光学ユニットは、ライン幅、ライン端の粗さ、クリティカルな寸法など、確立されたテストパラメータ全体をカバーするフルウェーハ計測および測定機能を提供します。このマシンは、2Dおよび3Dトポグラフィを分析するために複数の光学チャネルを組み込み、局所領域と特徴エッジの正確なイメージングを提供します。また、TENCOR FLX-2320は、インライン、フルウェーハスキャン操作時に自動精度と再現性を提供します。同一ウェーハ上のセンサ間の正確なアライメントだけでなく、測定対象との正確なアライメントを保証するアライメントシステムを備えています。これにより、同じウェーハで撮影したすべての測定値が同じレベルの精度であることが保証されます。FLX 2320の高度な光学ツールは、データ伝送と処理を迅速に行うことができ、大量の製造に適しています。FLX-2320の高いスループット能力により、ウェーハテストおよび計測に最適であり、生産分野の欠陥の傾向に関する情報を提供します。この資産は、信頼性の高いクリーンルーム操作のために設計されており、KLAの完全なメンテナンスプログラムに裏打ちされています。KLA FLX 2320は非常に使いやすく、今日のウェーハテストと計測に必須です。インライン・ハイスループット・オペレーションのための信頼性の高い正確なモデルを必要とするお客様に最適なソリューションです。
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