中古 KLA / TENCOR FLX-2320 #9292632 を販売中

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ID: 9292632
ヴィンテージ: 1993
Film stress measurement system 1993 vintage.
KLA/TENCOR FLX-2320は、高度な計測性能、正確なデータ、および信頼性を通じてIC製造動作を向上させることを目的に開発されたウェーハ試験および計測機器です。KLA FLX-2320は、コンパクトなフットプリントで速度と精度を提供する独自の光学ウェーハ測定アーキテクチャを備えています。このアーキテクチャには、1回限りのオートフォーカス機能、高速Xドライブ位置決め技術、自動計測機能、高度なCCDイメージングセンサーが組み込まれています。高度なCCDイメージングセンサは、高解像度および広域画像キャプチャ機能を実現するように設計されており、さまざまな種類のウェーハ特性を精度と再現性で同時に測定することができます。また、TENCOR FLX 2320は、ウェーハの焦点を正確かつ迅速に調整できる高度なワンタイムオートフォーカス機能を備えており、ウェーハ測定プロセスのスループットを向上させます。さらに、高速Xドライブの位置決め技術により、ウェーハステージの高速、正確、ランダムな動作が保証されます。TENCOR FLX-2320マシンは、面倒なジョブ設定とデータレポートタスクを排除し、合理化された操作を実現する堅牢なオートメーション機能を備えて設計されています。このツールには、Windowsベースのソフトウェアを使用したインタラクティブなPCワークステーションも含まれており、トレードオフ機能やデータ分析を簡単に画面上で制御できます。さらに、高度なウェハレベルのアラーム機能により、プロセスを継続的に最適化するためのリアルタイムの意思決定が可能です。KLA/TENCOR FLX 2320アセットは、任意のパターン化された基板、不透明な層を持つディスプレイおよび基板、および3D表面および構造を測定することができます。さらに、完全オフラインのウェーハ検査機能により、追加の高価な機器を必要とせずにウェーハを検査することができます。最後に、このモデルは、SEMIおよび米国適合保証レベル1 (CAL1)を含む業界標準を満たしています。要するに、FLX 2320はIC製造作業を改善するために使用できる強力なウェーハ試験および計測機器です。高度なワンタイムオートフォーカス機能、高速Xドライブ位置決め技術、さまざまなウェーハ機能を正確かつ再現可能に測定できるCCDイメージングセンサーを備えています。さらに、このシステムは、堅牢な自動化機能、Windowsベースのソフトウェア、およびウェハレベルのアラーム機能を備えており、オペレーションをさらに合理化します。
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