中古 KLA / TENCOR FLX-2320 #9269304 を販売中

KLA/TENCOR FLX-2320は、集積回路ウェーハの高精度測定用に設計されたフラットアレイ検査および計測機器です。このシステムは、柔軟な計測プラットフォームを備えており、各ウェハが正常に機能していることを確認するために、多数のウェハテストと測定を行うことができます。KLA FLX-2320は、ハイエンド光学技術により、ウェーハ表面の小さな特徴や欠陥を検出することも可能です。このユニットは、完全な計測機能を提供するように設計された強力なソフトウェアスイートを備えています。このスイートはモーションコントロール技術を使用しており、Z高さ測定、スキャン、フォーカス、ドリフト制御などの制御操作が可能です。ソフトウェアスイートでは、エッジ強化、光学プロフィロメトリー、画像解析などの他の高度な技術も使用して、測定の精度を確保しています。また、非接触表面測定のために他のマシンと統合することもできます。これにはスキャンヘッドオプションが含まれており、直径4〜12インチの幅広いウエハサイズをサポートします。これにより、このツールはさまざまなテストと測定を必要とするアプリケーションに使用できるようになります。強力なソフトウェアと組み合わせて使用すると、TENCOR FLX 2320は、高解像度の計測データをすばやくキャプチャする機能をユーザーに提供します。この資産は欠陥の点検、プロセス制御、ライン監視、重大な次元、オーバーレイおよびフィルム厚さのような適用にとって理想的です。高精度の測定機能と柔軟なセットアップにより、ウェーハテストと計測に最適なモデルです。