中古 KLA / TENCOR FLX-2320 #9036651 を販売中

KLA/TENCOR FLX-2320は、正確な2D画像と3Dコンターマップを提供する機能を備え、300mmウェーハを迅速に検査、テスト、測定します。KLA FLX-2320は、高度なプロセス制御機能を備えた先進的な機器であり、キャプチャおよび検査データに基づいて迅速かつ信頼性の高い意思決定を行うことができます。このシステムは、ウェーハ分析と深度測定を迅速に実行し、高い値と詳細な解像度を含むプロセスを実行します。さらに、このユニットは、ウェハの電気特性を高速かつ正確かつ再現可能に測定することができます。TENCOR FLX 2320は、さまざまな機能を実行できる複数のコンポーネントで構成されています。これには、ウェーハ上のチップの画像を迅速に処理するスキャナが含まれます。ウェーハの電気特性を測定し、検証できる計測機。ウェーハ表面に存在する欠陥を特定、定量化、分類することができる欠陥ローカリゼーションツール。また、ウエハの形状を解析し、設計仕様に適合していることを確認し、フォームファクタや構造誤差を検出することができます。最後に、FLX 2320にはスループット測定モデルが搭載されており、高速で信頼性が高く再現性の高いスループット測定が可能であり、詳細なプロセス監視が可能です。全体として、KLA/TENCOR FLX 2320は、さまざまな300mmウェーハ検査プロセスの品質を向上させるための強力で信頼性の高いツールです。明瞭で詳細な画像を提供し、電気特性の測定と検証、形状の分析、スループットの測定を、すべて迅速かつ再現可能な方法で行うことができます。さらに、高度なプロセス制御と信頼性で設計されており、検査およびキャプチャするデータに基づいて迅速かつ正確な意思決定を行うことができます。