中古 KLA / TENCOR FLX-2320 #293765088 を販売中
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ID: 293765088
ウェーハサイズ: 4"-6"
ヴィンテージ: 1999
Thin film stress measurement system, 4"-6"
Laser movement non-functional
Solid state laser: 3650 + 750 nm
Hard Disk Drive (HDD)
PC
Operating system: Windows 3.1
1999 vintage.
KLA/TENCOR FLX-2320装置は、28nmおよび小型ウェーハサイズの重要な機能の検査と測定を最適化するために特別に設計された、堅牢で高速なウェーハテストおよび計測システムです。KLA FLX-2320は、最先端の技術を活用し、高精度のウェーハ検査と特性評価においてマーケットリーダーとして位置付けられています。最新のKLAブレークスルー技術を搭載したTENCOR FLX 2320は、これまでにないインライン速度と精度を提供します。共焦点顕微鏡と多段イメージングアーキテクチャは、デュアルサイドイメージング機能と最適化された非接触プロービングユニットを使用して、これまでにないリアルタイムサンプル検査を提供します。FLX 2320は、デュアル処理、リアルタイム画像検出技術により、最も困難な機能と欠陥サイズを高精度かつ高速に測定できます。高密度検出器アレイを使用して、サブミクロン装置用の1。5nm分解能で詳細な測定を提供します。さらに、カスタム構築されたパターン認識マシンは、最も複雑なパターンを検出し、誤検出と区別することができます。最適な精度のために、KLA/TENCOR FLX 2320ツールは設定可能な計測モデルでプログラムされています。これには、プロセス変数をプロファイルし、クロスダイを検査する機能と、単一のレイヤレベルでのレイヤ固有のプロセス変数が含まれます。さらに、インラインautofoci機能により、高スループット測定が可能になり、プロセスの安定性と精度が向上します。また、KLA FLX 2320はウェーハ欠陥検出機能を自動化しています。設定可能なパターン認識、機能選択、拡張アルゴリズムの組み合わせに基づいて、アセットは、予測可能性と精度の高い欠陥の存在を検出し、報告することができます。最後に、TENCOR FLX-2320モデルは、ウェーハテストと計測のための完全で自動化されたソリューションを提供します。その高度な機能、リアルタイム検査および欠陥検出、プレミアム解像度、信頼性の高い操作により、大量の製造ラインに最適です。
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