中古 KLA / TENCOR Flexus 2320 #293762507 を販売中

KLA/TENCOR Flexus 2320は、半導体製造用の洗練されたウェーハ試験および計測機器です。ユーザーは、手動での介入を最小限に抑えて、ウェーハ材料の品質を迅速かつ正確に、コスト効率よく評価することができます。KLA Flexus 2320は、2つのIRカメラ、2つのフォトメトリックセンサー、4つのレーザーヘッドからなる高度なビジョンと検出システムを備えています。APR （Adaptive Pattern Recognition）アルゴリズムは、欠陥検出精度を継続的に監視し、ウェーハ欠陥検出の鍵となる高度な分類機能を可能にします。TENCOR Flexus 2320は、高度な光学系およびイメージングシステムにより、最大の精度で直径140nmの小さな欠陥を検出および測定することができます。Flexus 2320は、ウェハレベルの測定と分析を幅広く行うことができます。その高度な光学システムは、ウェーハ表面の特徴サイズ、ギャップサイズ、形状の変化（ぐらつき）、および不規則な階段状のパターン（またはステップ）を正確に測定することができます。また、オーバーレイとクリティカルな寸法の均一性、粒子と汚染物質、層の厚さも分析します。測定および分析に加えて、KLA/TENCOR Flexus 2320は、ウェーハテストと計測操作を合理化する高度な自動化機能を提供します。このマシンには、ポイントアンドクリックユーザーインターフェイスと自動ウェハハンドリング機能を備えた完全統合ソフトウェアツールが含まれています。これにより、オペレータの介入を最小限に抑えた大容量ウェーハの自動測定が可能になります。KLA Flexus 2320は、強力で汎用性の高いウェハテストおよび計測資産であり、半導体メーカーにとって非常に貴重な資産です。高度な光学系、高度なイメージングおよび検出システム、包括的な測定および分析機能により、半導体ウェーハの信頼性の高い自動品質評価に最適です。