中古 KLA / TENCOR F5x #9315380 を販売中

KLA / TENCOR F5x
製造業者
KLA / TENCOR
モデル
F5x
ID: 9315380
Film thickness measurement system Dual load port handler, 12".
KLA/TENCOR F5xは、半導体産業で使用するために設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。広視野(LFoV)を備えたビームベースの光学顕微鏡を備えており、幅広いイメージングおよび検査機能を提供します。このシステムは、欠陥やその他の小規模機能の迅速な測定、およびウェーハの電気的および/または熱的特性のテストに使用できます。このユニットは、対物レンズ、ビームスプリッター、ファインダー、フォトダイオードの配列など、さまざまな光学部品を使用しています。これらの要素を高度なソフトウェアアルゴリズムと組み合わせることで、KLA F5xは200ナノメートルまでの解像度で高精度のスキャンを実行できます。また、粒子、粒子、およびその他の有機的および無機的特徴を数ナノメートルの大きさまで検出することができます。このマシンは、臨界寸法、オーバーレイアライメント、欠陥検査、パーティクルカウント、および同位体測定など、さまざまな計測パラメータを評価するのに適しています。それは急速なスキャンのための調節可能な速度、加速および振動のモーターを備えた段階を含んでいます。そのソフトウェアインターフェイスはユーザーフレンドリーであり、包括的な測定を迅速かつ簡単に行うことができます。TENCOR F 5 Xには、イメージングベースのオートフォーカスや被写界深度制御など、さまざまな最先端の機能が組み込まれています。これらの機能は、欠陥検査やその他の解析の速度と精度を向上させるように設計されています。また、高速機能認識のためのパターンマッチング技術と統合されています。TENCOR F5xは、優れたイメージング機能と解析機能を提供するだけでなく、優れた信頼性を提供します。堅牢な設計により、厳しい産業環境に耐えることができ、自動化されたメンテナンスおよび校正プロセスにより、ダウンタイムを最小限に抑え、パフォーマンスを最大化します。全体として、F5xは、高度なウェーハテストと計測機能を必要とするあらゆる半導体業界にとって優れた選択肢です。堅牢な設計と幅広い機能により、市場で最も有能で信頼性の高いシステムの1つです。高精度で信頼性の高い性能を備えたKLA/TENCOR F 5 Xは、お客様の試験および計測ニーズに最適です。
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