中古 KLA / TENCOR F5x #9270868 を販売中

KLA/TENCOR F5xは、半導体製造のために設計されたウェーハ試験および計測機器です。最先端の光学イメージングおよび検査技術を使用して製造工程の歩留まりを最適化し、すべてのウェーハで均一性を確保します。このシステムは、自動ウェーハリフターを使用して、イメージングと分析チャンバ間でウェーハを転送し、各ウェーハを正確かつ迅速に分析および検査することができます。このユニットには、2つの高解像度カメラがあり、1つはイメージング用、1つは自動検査用に配置されています。イメージングカメラは、最大30nmの解像度でウェーハからのデータをキャプチャし、正確かつ高速なデータ収集を可能にします。このデータは、独自のアルゴリズムを使用して分析され、ウェーハの洗練された2D画像を作成します。また、検査カメラには高解像度の光学素子を採用して欠陥データを自動的に解析・報告し、検査結果の解釈を容易にします。KLA F5xは、ブライトフィールド、ダークフィールド、蛍光、断面画像などの高度なスキャン技術を使用して、幅広い波長で高解像度の画像を生成します。これらの画像は、高度なアルゴリズムを使用してウェーハ内の欠陥、不均一性、およびその他の特性を検出するために分析されます。このデータは、ウェーハの歩留まり、デバイスのパフォーマンス、欠陥などの品質指標を生成するために使用されます。この機械には、内部のサンプル温度および環境制御ツールも装備されており、汚染レベルを監視し、環境への影響を低減するために使用することができます。これは、ウェーハの結果に影響を与える温度と空気圧の変動を制限することによって達成されます。TENCOR F 5 Xには、プロセス速度と精度を向上させるために設計された幅広い機能も含まれています。これらには、アセットオペラビリティへの直接接続、自動ウェハステータスアップデート、画像登録、および統合生産モデルが含まれます。これらの機能を組み合わせたKLA F 5 Xは、高速で正確なウェーハ試験と計測を必要とする半導体メーカーにとって理想的な選択肢です。