中古 KLA / TENCOR F5x #9236720 を販売中

KLA / TENCOR F5x
製造業者
KLA / TENCOR
モデル
F5x
ID: 9236720
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Film thickness measurement system, 12" 2003 vintage.
KLA/TENCOR F5xは、先進技術を活用したウェハテストおよび計測機器で、半導体ウェハテストおよび検査のための包括的なソリューションを提供します。KLA F5xには、プロセス、歩留まり、自動化、および高度な故障解析のためのウェーハレベルのテストを可能にする、さまざまな自動ウェーハ検査ツールが装備されています。TENCOR F 5 Xは、ウェーハ表面を照明するためのLEDアレイ、信号をノイズ最適化するための反射信号をキャプチャする統合された光検出システム、および画像データの最高精度を確保するための高精度モーションステージなど、いくつかの重要なコンポーネントで構成されています。さらに、TENCOR F5xはDigital Image Correlation (DIC)を使用しており、完全なシリコンレベルユニット(SLS)技術またはSLS 9352プラットフォームを使用して画像の特徴を測定し、欠陥を特定できます。F5xは、パターン化されたウェーハとベアウェーハの両方、およびオーバーレイ検査や計測分析などの高度なプロセスステップを検査することができます。さらに、KLA/TENCOR F 5 Xには高速セグメンテーションアルゴリズムが搭載されており、粒子や粒子の形状パラメータを素早く正確に検出し、定量化することができます。KLA F 5 Xは、ユーザーがさまざまな欠陥を観察するために操作と設定を調整することができる汎用性の高いプラットフォームです。また、画像解析、コントラスト検出、測定の3段階で処理される自動ウェーハ欠陥スループットも利用できます。その先進的な機能には、従来のマスク欠陥や粒子欠陥に加えて、トランジスタゲート、MOSキャップ、接触ビアを検査する機能があります。また、F 5 Xは、ウェーハの移動やステージ間の位置決めを効率化するアクティブトランスポートマシンで設計されており、高速負荷とアンロード時間があり、ハイスループット処理に最適です。また、直感的なユーザーインターフェイスとユーザーフレンドリーなワークフロープログラミングを備えており、ユーザーはツールを正確に制御し、アプリケーションの特定のニーズに合わせて設定することができます。全体として、KLA/TENCOR F5xは、ウェーハテストと計測のための包括的なソリューションを提供し、迅速かつ正確な結果を保証します。洗練された高度な技術と機能により、KLA F5xさまざまな検査および欠陥検出要件に最適です。
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