中古 KLA / TENCOR eRanger 5200 #9263058 を販売中

KLA/TENCOR eRanger 5200は、ウェーハ上の膜厚や光学材料を測定する先進的なツールとして設計された次世代ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高品質の結果を保証しながら、超高解像度、速度、精度を提供するように設計されています。このユニットは、固体レーザースキャン顕微鏡、光学顕微鏡、クワッド検出器、X線反射計、およびその他の高度な計測技術を含む、ハイブリッド半導体/計測プラットフォームに基づいています。KLA eRanger 5200は、表面イメージング、光学表面特性、成膜/エッチング、機械校正など、幅広い測定および分析機能を提供します。非接触光学機械は可動ミラーコントローラと高解像度イメージャを備えており、ウェハの端でも高速測定が可能です。さらに、X線反射計は、材料特性評価のためのユニークなソリューションを提供し、オペレータは数秒で膜厚と膜密度を測定することができます。TENCOR eRanger 5200の高度なソフトウェアパッケージは、自動ジョブ設定、自動プロセスモントリング、ウェハーマップ編集、統計プロセス制御などの包括的な機能を提供します。また、高度な統計データ処理ルーチンとともに、画像分析と計算を提供します。精度を確保するために、このツールは追跡可能な精度で非常に反復可能であることが証明されています。また、ERanger 5200はクアッド検出アセットを使用しており、4つのウェーハを1つの測定に同時にプールすることができます。これにより、テスト時間が短縮され、スループットが向上します。また、フレキシブルなウエハハンドリング装置を採用し、さまざまなウエハーとの最大限の互換性を実現しています。KLA/TENCOR eRanger 5200は、改善されたウェーハテストと計測によってプロセスの歩留まりと製品品質を向上させるように設計されています。高解像度イメージングと高度なソフトウェア機能の組み合わせにより、ウェハレベルのテスト機能が大幅に向上し、信頼性の高い結果とプロセスの可視性が向上します。半導体、MEMS、 LED、太陽電池など、さまざまな産業で使用できます。このシステムの柔軟なアーキテクチャにより、既存の半導体プロセスへの統合も可能になり、生産性がさらに向上します。