中古 KLA / TENCOR eRanger 5200 #293625706 を販売中

KLA/TENCOR eRanger 5200は、半導体デバイスの迅速かつ正確な解析と測定を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、4インチと200mmまでのウェーハを迅速かつ正確にスキャンし、繰り返し測定するように設計されています。基本的な表面欠陥から複雑なプロファイル、特性、プロセスまで、さまざまなパラメータを測定できます。KLA eRanger 5200の高度なイメージング技術は、欠陥やプロセス署名の高解像度画像を提供し、ウェーハの歩留まりを最大限に高精度かつ再現性に優れています。TENCOR eRanger 5200は完全に自動化されたプラットフォーム上に構築されているため、ウェーハの手動処理は不要です。このユニットは、あらゆるサイズのウェーハ上のさまざまな欠陥やプロセスを測定するために素早く構成することができます。統合されたウェハマガジンは、自動ウェハローディング用に最大80個のウェハを保持し、自動ウェハマッピングにより最高レベルの再現性を保証します。ロボットハンドラを内蔵することで、試験や測定を行いながら、ウェーハを素早く正確に動かすことができます。ERanger 5200は、自動検査と手動検査の両方の機能を提供し、エンジニアとオペレータが欠陥またはプロセス署名をより詳細に迅速に識別できるようにします。自動検査モードはピーク測定を設定し、不適当なウェーハを分類しますが、手動モードを使用すると、パラメータを調整してより詳細な検査を行うことができます。このツールはまた、重要な機能500µm線幅の解像度と、高いスポット密度と機能カバレッジを備えています。アセットには、スループットと精度を向上させるように設計されたさまざまなソフトウェアアプリケーションが含まれています。これには、ウェーハの共線性を測定するためのKLA Targetrunner Co-Planarityソフトウェアと、画像の表示、データの分析、レポートの生成のためのTENCOR Insightが含まれます。KLA/TENCOR eRanger 5200には、画像のスクロールとズームを自動化するKLA/TENCOR GP-Viewソフトウェアも搭載されており、欠陥を分析する際に詳細を確認することができます。全体として、KLA eRanger 5200は、幅広いプロセスおよび欠陥タイプを迅速かつ正確に識別および定量することができる高度なウェーハテストおよび計測モデルです。その高度なイメージングおよびソフトウェア機能により、装置は優れた再現性と精度を実現し、ウェーハ全体の歩留まり損失を低減します。