中古 KLA / TENCOR eRanger 5200 #293621218 を販売中
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KLA/TENCOR eRanger 5200は、集積回路(IC)上のさまざまなパラメータを測定および検査するために使用される自動ウェーハ試験および計測機器です。それは正確で、信頼できる結果を提供するように設計されています。ウェーハテスト、欠陥解析、3Dイメージング、ウェーハツーデータベースマッピングなどの多機能を実現する高度な技術を搭載しています。KLA eRanger 5200は、欠陥のないハイスループット生産を可能にする自動ウェーハハンドリングユニットを搭載しています。75mmから300mmまでのサイズで、最大7つのウエハに対応できます。このツールには、正確な測定のためのさまざまなセンサーと計測機能が装備されています。高精度レベルで電圧や漏れ電流、抵抗、温度などを測定できます。このアセットは、高度な3Dイメージングを実行して欠陥を視覚化することもできます。このモデルには、欠陥評価と解析を可能にする統合された画像処理サブシステムが装備されています。数ナノメートルから数ミクロンまでのウェーハの欠陥を識別できる強力な画像処理アルゴリズムを備えています。また、アライメントや寸法変化などの特徴を解析するための高度な特性評価機能も備えています。また、強力なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えた堅牢なソフトウェアパッケージを備えており、操作が容易です。また、多数の洗練されたウェーハツーデータベースマッピングツールを搭載しており、設計データとテスト結果を効率的に比較することができます。このユニットは、独自の欠陥を迅速に特定し、是正措置戦略を策定するための自動テストを実行することができます。これらの作業を自動化することで、チップ開発に伴うセットアップ時間とコストを削減できます。高い再現性と精度と信頼性を備えているため、ウエハテストや回路設計に最適です。
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