中古 KLA / TENCOR D6 #9249608 を販売中

KLA/TENCOR D6ウェハテストおよび計測機器は、サブ5nmおよび次世代プロセスの精度とスループット要件を満たすように設計された正確な自動コンテンツ検査および計測ツールです。高度な光学、高度なアルゴリズム、自動化された制御を備えています。すべてが精密プラットフォームに組み込まれており、パターン化された半導体ウェーハで高速で正確な測定が可能です。KLA D6は、特にsub-5nm以降の高度なノードのすべての要件を満たしています。現在市場に出回っているKLAの最先端のウエハテスターで、ナノメートルスケールの構造や欠陥を極めて精度の高い測定が可能です。このシステムはまた、オーバーレイ精度、赤線、絞りサイズ、リソグラフィービア、レジストオープンなどのさまざまな機能を検出して測定するのに役立つ洗練された裏面計測機能を提供しています。処理とスループットのために、このユニットは高速ヘッドレートを備えたマルチビームスキャンヘッドを備えており、高度なアルゴリズムと光学を使用してより高い精度と高速な測定を保証します。このマシンには、サンプルのロードとアンロードのプロセスを高速化するための完全自動ウェーハインデクサも装備されています。また、高性能検出ツールを備えており、高度なアルゴリズムを使用して、クリティカルなライン幅、レジスト幅、レジストプロファイルなどの要素を定量化します。このアセットは、レシピの作成、分析、編集、結果を表示および印刷するためのレポート機能、および最小バイアスで正確な測定に到達するためのWTM （Wafer Test Matrix）などのデータ分析のためのさまざまな支援ソフトウェアツールなどの統合およびデータ分析機能を提供します。全体として、TENCOR D6ウェハテストおよび計測モデルは、サブ5nm以上のプロセスにおいて業界をリードする精度とスループットを提供し、最も要求の厳しい生産環境のニーズを満たすように設計されています。