中古 KLA / TENCOR D6 #9206785 を販売中
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KLA/TENCOR D6は、多層欠陥検査アプリケーションの業界標準を駆動するウェハテストおよび計測機器です。独自の技術により、他の検査システムの従来の分解能を超えた欠陥の検出が可能です。先進的なKLA D6システムは、重要な層内の欠陥を測定し、標準的な試験装置には見えない可能性のある電気故障メカニズムを検出するデュアルビームと4倍ビームの両方の光学ヘッドを採用しています。このユニットは10〜300 μ mのスポットサイズを選択可能で、小型および大型のプリント回路の両方を検査するオプションをユーザーに提供します。これにより、ユーザーはアプリケーションのニーズに応じてさまざまな検査を行うことができます。TENCOR D6には、高度なオートメーション、ソフトウェアユーザーフレンドリーなインターフェイス、強力な分析機能など、さまざまなパフォーマンス向上機能も含まれています。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)により、セットアップと操作の手順が簡素化されます。さらに、その組み込みソフトウェア機能は、強力な分析、パターン認識、およびパイロット検査機能を提供します。ウェーハ上のさまざまな場所で再発フィーチャーを識別することができます。さらに、KLA独自のQuadruple-Beam技術により、小さな粒子、臨界線欠陥、およびブリッジ、汚れ、断熱層を含む潜在的な電気的故障メカニズムを非常に予測可能にします。さらに、このツールは、特許取得済みのCoreView技術により、最高層の3次元検査をサポートします。D6アセットは、業界標準のすべてのウェーハカセットサイズをサポートしているため、IT、消費者、およびウェーハレベルパッケージング(WLP)テストのための汎用性の高いオプションです。トータル・レチクル・スループットは毎時950レチクルで、このモデルはさまざまなアプリケーションに複数のスループット・オプションを提供します。TENCORは、KLA/TENCOR D6機器を使用して成熟した信頼性の高いパッケージを提供し、多くの計測およびウェーハ欠陥検査アプリケーションに対応する包括的な選択肢となります。
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