中古 KLA / TENCOR D-600 #9411226 を販売中
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ID: 9411226
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2018
Profiler, 8"
Stage type: Motorized
Vacuum chuck
X and Y Range of motion: 150 and 178 mm
Theta stage: 360°
Maximum scan length: 55 mm
Scanning speed: 10 - 400 μm/sec
Sample thickness: 30 mm
Measurement specifications:
Step height repeatability: 5.0 A or 0.1%
Vertical range: 1,200 μm
Vertical resolution: 0.38 A
Stylus force: 0.03 – 15 mg
Sampling rate: 2,000 Hz
Maximum points per scan: 120,000
Lateral resolution: 100 nm
Side view FoV: 3760 x 3120 μm
Camera: 5 MP Color
Zoom: 4x Digital
Radius:
Standard: 2 - 50 μm
Submicron: 0.2 μm
High aspect ratio: 0.2 - 2 μm
Angle
Standard: 60°
Submicron: > 90°
High aspect ratio: 20 - 45°
Processor: 3.40 GHz Dual core
RAM: 2 GB
Hard drive: 250 GB
USB and ethernet
Operating system: Windows 7
Monitor, 19"
Facilities:
Electrical: 90-260 V, 50/60 Hz
Power: 150 mA
Vacuum: 500 mm Hg (27 Liters/min)
2018 vintage.
KLA/TENCOR D-600は、最先端のウェーハ基板および材料の材料特性、電気特性、およびウェーハ形状を測定するために設計された最先端のウェーハ計測機器です。このシステムは、さまざまなプロセスニーズに合わせて構成することができ、高度なイメージング、欠陥検査、および分析アルゴリズムを使用して、高精度で反復可能な検査を実行できます。このユニットはモジュラーイメージングプラットフォーム上に構築されており、イメージングステーション、ビジョンマシン、サンプルハンドリングインターフェイス、計測ステーション、熱制御ツール、および診断および制御ユニットを含む6つの主要コンポーネントで構成されています。このイメージングステーションは、光学散乱、蛍光、ラマン分光などの高解像度イメージング技術を利用して、ウェーハ材料の詳細な分析を提供します。ビジョンアセットはリアルタイムで画像をキャプチャし、ウェーハ上の特徴を1ミクロンの大きさで測定できます。サンプルハンドリングインターフェイスを使用すると、モデルからサンプルを自動的にロードおよびアンロードできます。測定ステーションは、厚さ、平坦度、表面粗さ、汚染および反射率などの特性を測定します。この装置は、電気特性を検出し、潜在的な欠陥を分析することもできます。このデータは、ウェーハの特性に関する情報を提供するために分析されます。熱制御システムは、ウェーハを最適な温度に保ち、正確な測定を保証します。最後に、診断および制御ユニットは、オペレータにユニットパラメータの設定、検査結果の表示、実験パラメータの変更を行うインターフェースを提供します。それはまた機械が遠隔に作動することを可能にし、実験室の他のシステムとインターフェイスできます。KLA D-600は、最新の技術と設計を組み込むことで、さまざまなウェーハメトロロジーアプリケーションを迅速かつ正確に実行することができます。
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