中古 KLA / TENCOR D-120 #9119137 を販売中

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KLA / TENCOR D-120
販売された
ID: 9119137
Stylus profiler.
KLA/TENCOR D-120は、III-V、 Si、 Ge、および化合物半導体を含む幅広い材料のデバイス構造および電気性能に関する正確な情報を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、手動および自動テスト機能を備えたマルチテクニック機能と、高解像度、赤外線、および可視光分光オプションを含む複数のイメージング機能を提供します。KLA D-120ユニットは、手動および自動テストの両方を提供する、汎用性の高いウェーハ測定および検査ツールです。高精度の光学センサ、電気光学センサ、ビデオメトリックセンサを使用して、幅広い材料に対して様々な電気的および物理的測定を行うことができます。このマシンは統合されたコンピュータ制御サブシステムを備えており、ナノメータスケール内で正確に再現可能な測定などの高度なウェーハ測定機能を提供します。このツールには、正確なテストと計測結果を確実にするためのさまざまな先進技術が装備されています。接触電圧測定、温度依存抵抗測定、走査型電子顕微鏡および関連するエネルギー分散分光分析を行うことができます。さらに、TENCOR D-120は、ナノスケールパターンアライメントとイメージングを実行する機能と、高い空間分解能でミクロンスケールの画像をスキャンする機能を提供します。ウェーハテストと計測アセットD-120、タッチスクリーンベースの制御モデルを提供し、効率的な操作を可能にします。機器にはKLAソフトウェアが同梱されており、デバイスのトラブルシューティングのための接触印刷、包括的な2次元ウェハマッピング、ウェハトラッキングデータベースなど、さまざまな機能にアクセスできます。KLA/TENCOR D-120は包括的な試験および計測システムであり、豊富なインプロセスおよびポストプロセス分析機能を提供します。走査型電子顕微鏡や接触電圧測定、徹底したデータ収集機能、直感的なソフトウェアインタフェースなどの先進技術を活用し、性能、信頼性、設計のための高精度なウェーハ測定および検査ソリューションを提供します。
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