中古 KLA / TENCOR CTC / FT / FT-500 / FT-530 #293609395 を販売中

KLA/TENCOR CTC/FT/ FT-500/ FT-530は、半導体ウェーハの精密光学試験用に設計されたウェーハ試験および計測システムです。自動化された操作と堅牢な設計により、高い精度と再現性を備えたウェーハの信頼性と再現性の高いテストが可能です。高度な高分解能測定法と高度な制御アルゴリズムを使用して、トポグラフィ、CD（臨界寸法）均一性、ドーパント量など、半導体ウェーハ表面のさまざまな特徴を正確に測定します。KLA CTC/FT/ FT-500/ FT-530は、光学ヘッド、ウェハステージ、光干渉計、スキャンソフトウェアパッケージの4つの主要ユニットで構成されています。光学ヘッドは、測定目的、基準目的、2つの数値目標を含む4つの光学系を収容する高度なユニットです。これらの光学系は、ウェーハ表面の詳細な画像を収集し、一連の収束フットプリントをウェーハ表面に投影します。ウェーハステージは、電動ゴニオメータプラットフォームであり、ウェーハを正確に配置し、光学に関連してそれを指向します。光干渉計は、変位、変位境界、平坦度を測定するハイエンドユニットです。このデバイスは、レーザーと回折格子を使用してウェーハ表面に干渉パターンを作成し、コンピュータを使用してパターンを分析し、正確で繰り返し可能な平坦度を測定します。最後に、スキャンソフトウェアパッケージを使用して、ウェーハテストと計測プロセスを自動化および制御します。このソフトウェアを使用すると、ユーザーはテストプロセスの設定と監視、測定結果の分析、レポートの生成を行うことができます。さらに、ソフトウェアには、自動バックテスト機能や自動参照機能など、テストプロセスを最適化するさまざまな機能が含まれています。TENCOR CTC/FT/ FT-500/ FT-530は、半導体ウェーハの正確で再現可能な測定が必要な精密光学試験アプリケーションでの使用に最適です。システムの自動化された操作と堅牢な設計により、高い精度と再現性を備えたウェーハの信頼性と再現性の高いテストが可能になります。全体として、CTC/FT/ FT-500/ FT-530は、ウェーハテストと計測ニーズに最適なソリューションです。