中古 KLA / TENCOR Candela CS10R #9372904 を販売中

KLA/TENCOR Candela CS10Rは、精密ウェハテスト、計測、特性評価に使用されるウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、半導体生産ラインにおける工具およびテープ工程、高さ制御、形状測定、欠陥解析でプロセスエンジニアをサポートするように設計されています。ウェハマッピング、欠陥検出、粒子解析など、さまざまな用途に使用できます。視力検査機、光学顕微鏡、半導体ウェハ上の欠陥や粒子を検出するウェハカメラツールを搭載しています。このビジョンアセットは、最も小さな欠陥をすばやく検出して分類する高速で高精度な解析を可能にするように設計されています。この光学顕微鏡はサンプルのダイレクトイメージングをサポートし、ウェーハの高解像度表示を可能にします。これにより、表面地形と構造特徴の両方を効果的に検出することができます。最後に、ウェーハカメラはウェーハ表面全体の広い視野を撮影することができ、欠陥検出や解析に高品質な画像を使用することができます。このモデルは、分析用の最先端ソフトウェアと統合されており、リアルタイムのプロセス監視、自動欠陥分類、データ分析を提供します。これにより、プロセスエンジニアはプロセスの問題をすばやく検出し、潜在的な問題を特定することができます。さらに、この装置は、さまざまな自動処理プロセスを提供しています。これには、ウェーハの測定を追跡し、潜在的な欠陥をマッピングできる自動ウェーハマッピングシステムと、ロボットアームを使用してウェーハを受け入れる自動ウェーハ転送ユニットが含まれます。KLA Candela CS10Rは、ウェーハテストと計測のための機能と自動化の強力な組み合わせを提供します。これにより、迅速かつ正確な欠陥検出および解析、および自動処理およびマッピングプロセスが可能になります。これにより、プロセスエンジニアは半導体生産ラインの問題を特定して対処することができ、デバイスの性能と歩留まりが向上します。