中古 KLA / TENCOR Candela CS10 #9389847 を販売中

KLA / TENCOR Candela CS10
ID: 9389847
Surface inspection system.
KLA/TENCOR Candela CS10は、ウェーハの表面および特性をナノスケールレベルで完全に測定およびテストできるように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムには、高度な光学技術とイメージング技術が搭載されており、ウェーハ表面および物理パラメータの正確かつ正確な特性評価を可能にします。統合された検出器とシグナルプロセッサは、ナノスケールのレベルでウェーハ表面を高分解能で測定します。KLA CANDELA CS-10は、レーザー干渉計、散乱計、平行位相シフト干渉計、および光学モジュールを非接触測定に使用します。レーザー光のビームがサンプル表面に向けられ、その反射スペクトルがウェーハの特性を評価するために使用されます。さらに、このユニットは3D非接触表面プロファイルを内蔵しており、ウェハの地形や表面のオーバーハング、バリ、ボイドなどの重要なパラメータを正確に測定できます。TENCOR CANDELA CS 10にはデュアルヘッド傾斜回転ステージが装備されており、ウェーハの正確な取り扱いとナビゲーションが可能です。これは非常に高速な測定が可能であり、機械は広範囲を迅速かつ正確に調査することができます。さらに、ラミネーションとオーブンコントローラを内蔵し、ウェーハ研磨とプロセス最適化を可能にします。CANDELA CS 10に搭載されたソフトウェアツールにより、簡単な可視化、結果の報告、自動化されたプロセス制御が可能です。このアセットは、自動データロギングとカーブフィッティングが可能であり、正確な分析、比較、およびレポートを可能にします。さらに、柔軟なデータ操作機能を提供し、カスタム分析を可能にします。Candela CS10は優れた性能と汎用性のために設計されています。高度な光学部品とイメージング技術、精密オートメーション、包括的なソフトウェア機能を備えたこのモデルは、ウェハの表面および物理特性を完全かつ正確に評価します。この徹底した特性評価により、信頼性の高い分析、比較、プロセスの最適化が可能になり、ウェーハのテストと計測にとって非常に貴重なツールとなります。
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