中古 KLA / TENCOR Candela CS10 #9186184 を販売中

KLA/TENCOR Candela CS10ウェーハテストおよび計測機器は、高度なイメージングおよび計測技術を使用して、電子デバイス製造に使用される前にウェーハを検査します。このシステムは、5軸関節ステージを使用して、制限されたローディングおよびアンロード領域での完全なウェーハ検査をサポートします。CS10には新しい水平ビームパスがあり、オペレータのフットプリントを低減しながら、拡張されたビューフィールドを提供して、グローバルな欠陥検出を強化します。その先進的な光学ユニットは、ステップスキャン機能を使用して、比類のない焦点と分解能を備えた屈折フラット標本をスキャンします。また、3k x 2kの画像キャプチャ解像度と高度なImage Upscaling技術を備えており、よりシャープな画像を保証します。このCS10は、最新のイメージングおよび計測技術で構成されており、1つの機器で複数のセンサーおよび解析構成を提供します。キャリブレーションされ、0。1nmから80umまでの幅広い信号レベルを測定し、高アスペクト比デバイス構造や薄型ウエハなど、さまざまな厚さのさまざまな材料を評価することができます。このCS10は、さまざまなプロセス化学および自動測定アルゴリズムの豊富なライブラリと互換性があります。様々なウエハに対応するための材料適応技術や、200〜800mmのウエハ形状・サイズを特長としています。このCS10では、非接触光学測定から接触および非接触プローブまで、音響マイクロイメージャ、渦電流、レーザー変位マッピング、欠陥測定などの幅広いオプションを提供しています。これは、欠陥計測および半導体プロセス制御解析用の計測ツールスイートと統合されています。このCS10は、特別なケーブル接続を必要とせずに既存の本番環境に取り付けるのに十分な柔軟性があり、高度なデータ管理機能により、顧客データの安全な保管と堅牢なマシンセキュリティが可能になります。それは利用できる広範囲のオペレータートレーニングおよびテクニカルサポートと信頼でき、使いやすいです。全体として、KLA CANDELA CS-10は信頼性の高い多目的ウェーハテストおよび計測ツールであり、最新のイメージングおよび計測技術を提供し、さまざまなウェーハタイプとサイズの高品質で正確な検査を保証します。これは、コスト効率の高い方法で迅速かつ正確な欠陥検出を必要とする電子機器メーカーにとって貴重なソリューションです。