中古 KLA / TENCOR Candela CS10 #9179263 を販売中

KLA/TENCOR Candela CS10は、臨界寸法（CD）やオーバーレイなどの測定を含む、ウェーハの高精度測定用に使用されるウェーハ試験および計測システムです。CS10はCandelaシリーズのツールの一部であり、さまざまなプロジェクトの自動検査機能を幅広く提供しています。重要な欠陥箇所のレビュー、故障解析、プロセス監視、部品ごとの検証などが含まれます。140nmと90nmの両方の設計ルールに適しており、最大55nmの機能抽出が可能です。CS10の先進的なウエハハンドリング機構により、高温ウエハ（摂氏500度まで）や各種ウエハ径（200mm〜9mmまで）を容易に操作できます。その高速レーザー干渉計は、前のシステム上の効果的な測定速度の4倍の増加と正確な計測を保証します。このCS10は、優れたウェーハスループットとデータ精度の両方を誇っています。パワフルで信頼性の高い検出器を備え、約2,000平方ミリメートルの総測定領域を提供します。高速では、毎秒200の測定値を提供します。このCS10には、広範な測定フィールド、放射冷却された放射光学系、速度と精度に最適化されたモータなど、多数の光機械的機能が装備されています。イメージベースのエッジ検出アルゴリズムにより、高度なウェーハ測定のためのエッジとステップの高さを正確に測定できます。KLAには、データ収集と光学システムの簡素化された処理を容易にするTraceソフトウェアスイートと、あらゆるエクスペリエンスレベルのユーザーの操作を簡素化するグラフィカルユーザーインターフェイスが含まれています。これらの機能を組み合わせることで、ウェーハ計測に最適なCS10となります。