中古 KLA / TENCOR Candela CS10 #293816146 を販売中
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KLA/TENCOR Candela CS10は、ウェハテストおよび計測機器です。さまざまな半導体製造プロセスにおいてウェーハ品質を確実に制御できるよう、精密な計測を提供するよう設計されています。このシステムは、ハードウェアとソフトウェアコンポーネントの独自の組み合わせを使用して、ウェーハの幅、厚さ、変位、表面仕上げなどの特性を迅速かつ正確に測定できます。このユニットは、光学ヘッドと強力な光学顕微鏡を備えており、単一のスキャンで複数のパラメータを測定します。光学ヘッドは、レンズ、フィルター、光学部品、照明源で構成され、高解像度のイメージングと正確な再現可能な測定を提供します。さらに、高速スキャンコントローラを搭載し、最大10µm分解能で値と位置を正確に測定します。KLA CANDELA CS-10には、各スキャンウェハを監視するための自動品質管理ソフトウェアも装備されています。このソフトウェアは、機械の光学ヘッドによって生成されたスペクトル情報を分析することによって、表面の特徴の異常なレベルを検出することができます。また、層間制御のためのウェーハ厚さの正確な測定も可能です。このツールには、直感的なユーザーインターフェイスとタッチスクリーンディスプレイが装備されており、資産の操作を簡素化できます。このユーザーフレンドリーなインターフェイスは、ソフトキー、ドラッグアンドドロップ機能、およびホットキーコマンドを組み合わせて、テストプロセスを簡素化および迅速化します。また、各ウェーハのライブビューイメージを通して視覚的なフィードバックを提供し、オペレータがウェーハの状態をすばやく評価できるようにします。全体として、TENCOR CANDELA CS 10は強力で信頼性の高いウェーハテストおよび計測モデルです。ハードウェアとソフトウェアコンポーネントの独自の組み合わせにより、複数の半導体製造プロセスのウェハ品質を正確に制御できます。この装置は、高精度で再現性のある複数の特性を同時にスキャンする必要があるあらゆる半導体生産環境に適しています。
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