中古 KLA / TENCOR Candela CS10 #293809709 を販売中

ID: 293809709
ヴィンテージ: 2009
Optical defect inspection system 2009 vintage.
KLA/TENCOR Candela CS10は、IC製造用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。CS10システムは、Candela CS42ユニットの実績のある卓上アーキテクチャに基づいており、製造業者に究極の計測精度と信頼性を提供します。このCS10は、実証済みの楕円測定技術を活用して、集積回路(IC)ウェハの試験および認定のための正確なウェーハ反射率測定を保証します。このマシンは、ウェーハ反射率校正、ウェーハ定義、テスト、認定など、さまざまなアプリケーションに表面解析ソリューションを提供します。CS10の高度な光学プロファイル検出器と最適化アルゴリズムにより、ウェーハ反射率をリアルタイムで監視および制御し、ウェーハの品質を最高の精度に向上させることができます。この高精度オプティクスは、ICウェーハ上で最小のウェーハ固有機能(WSF)を測定する際に最大限の精度を保証します。このツールは、ウェーハを測定チャンバに自動翻訳してロードする機能を備えているため、使いやすさとオペレータ関連のエラーが少なくなります。CS10はまた、ウェーハ表面の広角ビューを備えており、光ファイバーによって検出チャンバーに送信されます。これにより、技術者は潜在的な信頼性の問題を迅速に特定し、解決することができます。このCS10は、近赤外線(NIR)光源を利用して膜厚を測定し、絶対精度のために校正されます。このデータは、アセットの高解像度LCDタッチスクリーンに表示され、ウェハ表面の鮮明な視覚的画像を提供します。このCS10には、共通の計測タスクを自動化するためのプログラム可能なユーザーインターフェイスも装備されており、長年にわたる生産を続けています。OPC-AECなどの高度な通信プロトコルにより、CS10を既存の製造情報システムに簡単に統合できます。また、ウェーハの積載と測定を容易にする高度なモーションコントロールエンジンを搭載し、プロセス全体の精度と速度をさらに向上させています。KLA CANDELA CS-10は、信頼性の高い正確な計測機器で、集積回路ウェーハを迅速かつ正確にテストおよび認定できます。このCS10は、実績のある楕円測定技術と専門的な光学プロファイリングを活用して、正確なウェーハ反射率の測定を保証します。高度な通信プロトコルとユーザーインターフェースにより、CS10は既存の製造システムに簡単に統合でき、ウェーハ認定における重要なツールです。
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