中古 KLA / TENCOR Candela CS10 #293637902 を販売中

KLA/TENCOR Candela CS10は、半導体アプリケーションにおいて卓越した精度と高スループットを提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。ウエハーは最大300mmまで対応可能で、接触と非接触の同時測定、データ解析とレポートの自動化が可能です。オートフォーカスと波長キャリブレーションを自動化した高分解能の光学顕微鏡を搭載し、結晶欠陥の検査、総厚さのばらつきの測定、トポグラフィによる判定が可能です。このツールの4ポートのデュアルヘッドサーフェスプロファイラは、中間層、高アスペクト比、および狭い、深いビアホールをキャプチャすることができます。さらに、2つのパーティクルセンサ、2つのカラー3Dマッピングセンサ、2つの散乱計測器を内蔵しているため、表面仕上げ、粒子紛争、ラインエッジの粗さを迅速かつ正確に測定および分析できます。このモデルは高度に構成可能であり、特定のアプリケーションやお客様の要件に合わせてカスタマイズすることができます。また、統合された自動機器識別、特許取得済みのノズルクリーナー、24時間年中無休の監視機能など、多くのオートメーション機能も含まれています。さらに、このシステムは、現代のリソグラフィープロセスに見られる多くの非線形効果を正確に特徴付けることを可能にする、さまざまな高度なアルゴリズムをサポートしています。その結果、ユーザーはウェーハが仕様内にあり、要件を常に満たしていることを確認できます。洗練されたデザインのおかげで、KLA CANDELA CS-10は他のウェーハテストおよび計測システムよりも多くの利点を提供します。高精度で、ウェーハ特性の最小バリエーションでも測定・解析が可能です。また、高いスループットを提供し、迅速かつ信頼性の高いウェーハ特性評価を可能にします。さらに、このユニットは高度に構成可能であり、ユーザーがテストおよび計測機を最大限に活用できるようにするために、多くの高度で自動化された機能が含まれています。