中古 KLA / TENCOR Candela CS10 #293626641 を販売中

KLA / TENCOR Candela CS10
ID: 293626641
Surface inspection system.
KLA/TENCOR Candela CS10は、高性能ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、欠陥を検出し、デバイスの電気特性を測定し、製造プロセスをよりよく理解するためのデータを提供することによって、製造業者が製品の歩留まりを改善するのを助けるように設計されています。このCS10は、自動化された精密なウエハテスターを使用して、最大300mmまでのさまざまなウエハサイズをサポートします。マイクロステッピングモーターを使用して、X、 Y、およびZウェーハの正確な位置決めを行い、正確な重要な寸法を敏感に測定できます。電動リニアステージは、高精度で制御可能なサーフェスサンプリングを提供します。CS10は、高解像度の光検査センサと画像処理アルゴリズムを使用して、ウェーハ上の粒子、欠陥、および損傷した表面を検出します。多数のレーザー検出、充満注入装置およびパッチのテストの技術は装置の層、基質および放射状の間隔の精密な監視を提供します。CS10はまた、人間のエラーを排除し、効率を向上させる自動光学アライメントユニットを使用しています。このCS10は、ウェーハ表面、エッジ、平坦度、および接触穴のための高速かつ正確なウェーハ計測データを提供します。統合された垂直方向および水平方向のプロファイル測定センサは、デバイスの重要な寸法を測定し、3Dで腐食および粗さ情報を収集します。レーザーマーキングを自動化することで、ウェハのトレーサビリティも実現します。このCS10は、高度な機能解析やウェーハパラメータの定式化など、幅広い統合計測ソリューションをサポートしています。また、ユーザー定義の分光測定や信号解析もサポートしており、デバイスの製造プロセスについてより深い洞察を提供します。CS10は、運用を合理化し、データの信頼性を向上させるソフトウェアツールとデータベースへの包括的な接続を提供します。このマシンは、LMISなどの集中型アプリケーションもサポートしており、変化するニーズに対応する拡張性と柔軟性を提供します。結論として、KLA CANDELA CS-10は、顧客に正確で信頼性の高いウェーハテストと計測ソリューションを提供します。高度な機能、高精度、拡張性により、製造メーカーは歩留まりと生産性を向上させることができます。
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