中古 KLA / TENCOR Candela CS10 #153587 を販売中

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ID: 153587
Surface Inspection system 120/280 V, 60 Hz, 20 Amps Nitrogen: 4 SCFM @ 80PSI 1/2"FNPT Compressed Dry air: 6SCFM @ 80PSI 1/2"FNPT Vacuum: 2CFM at 28" HG 1/2"FNPT Cabinet plenum drain (Dry plenum) 2"FNPT Fume exhaust: 1400CFM @ .75" of water 2006 vintage.
KLA/TENCOR Candela CS10は、自動ウェーハ試験および計測装置です。幅広いウエハテストや計測チェックを高効率で行うことができる11軸のエアベアリングシステムです。その機能と機能により、ロジックとメモリウェハの両方の品質を評価するのに理想的です。KLA CANDELA CS-10は、ロジック、プロセッサ、フラッシュメモリ、動的ランダムアクセスメモリ(DRAM)、メモリ試験電極など、さまざまな半導体ダイの電気性能を測定するために使用されます。このマシンには、1000mmステージ、多軸モーションコントローラ、およびさまざまな高度な計測ツールが装備されています。それは高いスループット、速いスキャン速度および精密測定法を提供します。正確さを確保するために、このツールには、資産のパフォーマンスを常に監視する検出および補正機能が内蔵されています。TENCOR CANDELA CS 10は、ビジョンベースのウェーハ検査および半導体ビジョンの最新技術を使用しています。このモデルは、ウエハ上の欠陥を検出、追跡、分析するための超高速ヘッド、複数の光学目的、および多数のビジョンシステムとアルゴリズムを備えています。さらに、装置のビジョンサブシステムにより、ユーザーは個々のデバイス、ウェーハ、サブウェーハの性能を評価することができます。このシステムは、ダイオード、メモリ、およびディスクリートトランジスタのテスト機能と完全な1,288点のCV特性評価を提供します。これにより、集積回路内のすべてのコンポーネントの性能を評価し、ベンチマークすることができます。KLA CANDELA CS 10は、幅広いデータ取得、分析、レポート機能を提供し、プロセス開発時間とコスト削減を評価できます。また、計測機能を備えているため、セルの位置合わせを0。5マイクロメートルまで測定することができます。高度な計測ツールと独自のアルゴリズムを統合することで、プロセスの品質、地形、欠陥の傾向を評価および評価するのに役立ちます。高度な機械にも適応モーションコントロールがあり、オペレータは調整ツールを指定し、特定のニーズを満たすために新しい運動軌道をプログラムすることができます。さらに、この資産は、オンライン診断、高度なアラーム、およびエラーロギング機能を提供しています。CANDELA CS 10は、ウェーハテストと計測のための高精度で効率的なツールです。さまざまな高度な機能を備えているため、半導体ウェーハの品質評価に最適です。ダイオードテストからメモリ特性評価まで、このモデルは比類のないレベルの精度を提供し、プロセス全体の最適化に大きなメリットをもたらします。
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