中古 KLA / TENCOR Candela CS1 #9399871 を販売中

ID: 9399871
ヴィンテージ: 2007
Inspection system 2007 vintage.
KLA Candela CS-1は、半導体デバイス製造用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、粒子、欠陥、その他の異常を検出するために、ウェーハおよび集積回路(IC)パッケージの高分解能光検査を提供します。自動化されたウェーハハンドリングユニット、高度な照明システム、高速画像キャプチャを備えています。このマシンには、小さな粒子、欠陥、その他の異常を検出するための画像解析および分類ソフトウェアも含まれています。Candela CS-1にはモジュラー設計があり、ユーザーは特定のニーズに合わせてツールをカスタム設定できます。このアセットには、ウェーハイメージングと欠陥検出を強化するためのいくつかの照明オプションがあります。これらの照明システムには、ブライトフィールド、ダークフィールド、エッジイルミネーション、偏光、紫外線イルミネーションが含まれます。自動化されたウェーハハンドリングモデルは、高スループットのために設計されており、自動ウェーハクリーニングとウェーハローディングを可能にします。装置も拡張可能で、顕微鏡モジュールを追加することができます。このシステムには、最小サイズの高解像度画像を提供する画像キャプチャユニットが内蔵されています。画像キャプチャマシンには、カラーCCDカメラと5Xから200Xまでの倍率の範囲が含まれています。また、画像キャプチャ、画像分析、分類用の画像キャプチャソフトウェアも含まれています。TENCOR Candela CS-1は、自動電圧や電流制御などのウェハレベルの電気試験およびプロセス制御機能を提供します。このツールは、リソグラフィ、アセンブリ、ダイシング、研磨など、さまざまなウェハプロセスと互換性があるように設計されています。さらに、このアセットには欠陥検出およびデバイス特性評価を実行するために使用できるテストモデルが含まれています。この装置は、静電容量、漏れ電流、抵抗、破壊電圧、電流ドリフトなどのデバイスの重要なパラメータに関する詳細な情報を提供できます。Candela CS-1システムは、統合されたデータ管理ユニットも提供します。データ管理マシンは強力なレポートツールを提供し、ユーザーはデバイスのパフォーマンス、欠陥検出、およびプロセス制御に関するレポートを迅速かつ簡単に生成できます。また、ユーザーは履歴データにアクセスして分析し、製造プロセスの問題領域をすばやく特定して対処することもできます。全体として、KLA/TENCOR Candela CS-1資産は、半導体デバイスの検出と特性評価のための強力なツールです。このモデルは、高解像度イメージング、広範囲の照明システム、高度な画像キャプチャ技術、プロセス制御機能、および包括的なウェーハ検査および計測機器のための統合されたデータ管理を提供します。
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