中古 KLA / TENCOR Candela CS1 #293585686 を販売中

KLA / TENCOR Candela CS1
ID: 293585686
ウェーハサイズ: 2"
ヴィンテージ: 2007
Inspection system, 2" 2007 vintage.
KLA/TENCOR Candela CS1は、集積回路(IC)の電気特性と物理プロファイルを測定するためのウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、自己完結型のデュアルビュー、X-Y-Zステージ、ウェハスピンチャック、光学顕微鏡で構成されています。ダイとウェーハ上の集積回路の電気特性を詳細な寸法測定および特性を提供するように設計されています。KLA Candela CS1の強力なイメージングおよび照明機能により、ICの電気特性を正確に測定できます。このユニットは、テストパッド上の広い範囲の暗い電流と電圧応答、および漏れ電流を測定することができます。さらに、インピーダンス、キャパシタンス、インダクタンスなどの他の電気パラメータも、専用インタフェースの助けを借りて測定できます。このツールはまた、大きな画像視野を提供し、0。1umまでの画像の特徴を測定することができます。TENCOR Candela CS1には、ハンドルと測定ステーションが統合されており、迅速なウェハローディングとアンロードを可能にします。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、資産をシンプルかつコスト効率的に運用できます。さらに、欠陥・故障解析用の高精細カメラ装置、誘電定数(Dk)応力、分散、高解像度オーバーレイ、高度な統計定量モジュールなどの高度な機能を搭載しています。Candela CS1はまた、機能抽出と解析アルゴリズムの包括的なセットを提供しています。ベベル、カット、溝、クリアランスなどの機能は、システムによって迅速かつ正確に測定されます。計測データは様々な共通データ形式でエクスポートすることができ、データの報告やアーカイブが容易に行えます。このユニットは堅牢なサポートネットワークに支えられており、メンテナンスと運用上のニーズに迅速に対処できます。全体として、KLA/TENCOR Candela CS1は、電気パラメータ、中程度の寸法特性を測定し、チップデザイナーにとって重要な設計情報を抽出するための理想的なウェハテストおよび計測ツールです。正確で迅速かつ包括的な計測機能により、高度な半導体試験と測定に最適です。
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