中古 KLA / TENCOR Candela C2 #96305 を販売中

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ID: 96305
Surface Inspection system, 4", parts machine Requires a new computer and KLA software license Currently installed in the fab 2002 vintage.
KLA/TENCOR Candela C2は、プロセス開発と生産管理の両方で使用されるウェーハ試験および計測機器です。ウエハーの薄膜厚とパターンのパラメータを測定するための世界で最も効率的なツールとなる高度で強力な機能を備えています。ウェーハ表面の薄膜パラメータとパターンパラメータの両方を正確かつ高速に測定できます。KLA Candela C2システムは、非接触測定と直接接触測定の両方を実行する最先端の完全自動化ユニットを備えています。高度な光学システムと高度なソフトウェアを組み合わせ、優れた高解像度薄膜およびパターンパラメータ測定機能を提供します。TENCOR C2では、フィルムやパターンの高さ、表面積、角度、ステップハイトなど、幅広いウエハートポグラフィーパラメータを測定することができます。この機器はまた、プロセス感度の範囲に対応するための高いダイナミックレンジを提供しています。精密な計測機能により、様々な薄膜特性やパターンパラメータを正確に測定できます。また、Candela C2は優れたプロセス監視と制御を提供し、ユーザーはプロセスのバリエーションを特定し、プロセスを微調整することができます。また、高速かつ正確なデータ取得機能も備えています。高解像度測定を容易に取得・処理できる強力なソフトウェアパッケージを搭載しています。ソフトウェアは、正確な測定を提供するだけでなく、結果を比較し、分析することができます。KLA C2には、さまざまなユーザーフレンドリーなインターフェイスが付属しています。WindowsとLinuxの両方と互換性があり、複数の言語でも利用できます。要約すると、C2はオールインワンウェーハテストおよび計測ツールであり、ウェーハ表面上の複数の薄膜またはパターンパラメータを正確かつ迅速に測定できます。高度な機能により、プロセスのバリエーションを特定したり、プロセスを微調整したりできます。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと高速データ収集機能により、ウェーハテストおよび計測アプリケーションに最適です。
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