中古 KLA / TENCOR Candela 6100 #293597433 を販売中

ID: 293597433
ヴィンテージ: 2006
Optical surface analyzer 2006 vintage.
KLA/TENCOR Candela 6100は、最高の精度とスループットでウェーハの電気特性を測定するために設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。システムの先進的な光学、高度なオートメーション、柔軟なプラットフォームにより、さまざまな半導体製造プロセスでの高スループット、高精度テストに最適です。KLA Candela 6100は、正確なウェーハ移動のための5軸ポジショニングステージを備えています。単位の統合された測定機械は1 μ mまで特徴を測定することができます。高度なパターンマッチングアルゴリズム、高精度自動制御、オンボード画像解析機能により、迅速なウェーハ特性評価とパターン認識が可能です。さらに、このツールは、ウェーハサイズ、タイプ、厚さの広い範囲に適応することができます。このアセットは、接触抵抗、臨界寸法、電流-電圧特性、ピッチ、および光抵抗などのさまざまなテストパラメータを提供します。また、さまざまなウェーハトポグラフィーをテストするための複数のテストモードとアルゴリズムも提供しています。その高分解能オプティクスは広範な視野を提供し、ウェーハあたり最大128個のプローブを可能にします。このモデルは、最新のASICベースの制御アーキテクチャを備えた高性能DSP (Digital Signal Processor)を搭載しており、精度と速度を向上させます。最適なパフォーマンスを確保するために、リアルタイム診断、アラート、アラームのフルスイートが装備されています。ユーザーインターフェイスはシンプルで直感的で、迅速なセットアップと操作を可能にします。ユーザーフレンドリーなWindowsベースの制御ソフトウェアにより、パラメータ、データ、分析結果にアクセスできます。この機器には、校正および認定パッケージが内蔵されており、ウェーハの再現可能なテスト精度を保証します。TENCOR Candela 6100は、さまざまな半導体製造プロセスにおける正確で高スループット測定用に設計された高度なウェーハ試験および計測システムです。その柔軟なプラットフォーム、高度な光学、高度なオートメーションは、最高レベルの精度とパフォーマンスを保証します。このユニットの直感的なユーザーインターフェイスと強力なDSPは、要求の厳しいウェーハテストアプリケーションに信頼性の高い包括的なソリューションを提供します。
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