中古 KLA / TENCOR ATI I Surfscan #9292752 を販売中

KLA/TENCOR ATI Surfscanは、集積回路および半導体デバイスの製造に使用される最先端のウェーハ試験および計測機器です。ウェーハやナノ構造物の微細な欠陥を検出できる、高精度で信頼性の高い自動表面欠陥検査システムです。このユニットは、表面スキャンと計測の2つの基本操作を実行するように設計されています。表面スキャンでは、ウェーハ表面の診断スキャンを実行して、ウェーハ上の表面欠陥を特定します。ウェーハ表面の微細な欠陥を検出できる特殊なレンズと照明ツールを搭載しています。これにより、肉眼では見えない傷、表面粒子、その他の特徴などの欠陥を識別することができます。計測とは、ウェーハと関連するデバイス部品の特性を測定するプロセスです。KLA ATI I Surfscanを使用すると、幅、長さ、たわみ、傾き、プロファイル、厚さなど、さまざまな計測パラメータを測定できます。アセットの高度な機能により、オペレータは比類のない精度でウェーハ全体と3Dナノ構造を測定できます。このモデルは、イメージングおよび計測機能に加えて、データ分析およびレポート機能も提供するように設計されています。スキャンおよび計測プロセスからのデータを外部データベースに送信したり、機器に収集して分析することができます。これにより、オペレータはウェーハの状態と品質に関する包括的なレポートを作成できます。また、オペレータはカスタムレポートやチャートを生成して、測定データの傾向や異常を特定することもできます。全体として、TENCOR ATI I Surfscanはウェーハ製造および半導体デバイスのアプリケーションにとって非常に貴重なツールです。これは、オペレータが微細な欠陥を特定し、デバイスの特性を測定し、レポート用のデータを分析するのに役立ちます。このシステムを活用することで、オペレータはプロセスを最適化して効率と品質保証を高めることができます。