中古 KLA / TENCOR ASET F5x #9361861 を販売中
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販売された
ID: 9361861
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2001
Film thickness measurement system, 12"
Insert type: Conversion, 8"
Data transfer: Floppy Disk Drive (FDD) / DVD R/W
Operation: Mouse and keyboard
Emergency button cover: Recessed type
Door interlock
Recipe auto backup
Auto data deletion
Auto error log file save and classification
Queued loading (Queue recipe)
Operating system: Windows XP
Spectroscopic ellipsometer
Spectrometer
Wavelength of light source: 220~800 nm
Spot size for thickness and RI: < 40μm
Spot size for reflectivity: < 40μm
Mapping function: 2D and 3D
Pattern recognition
Recipe copy with film library
SE and DBS Optics
Optic lens: 1x, 2x, 4x, 15x
Pattern score: FA
Location screen: Visualize on one screen
Pattern recognition image / Measurement site save
Spectrum save function (Save all at once)
Spectrum save and auto deletion
Recipe / Library import: On-time intromit at TCP/IP
AMHS
Signal tower
Wafer breakage
Options:
GEM SEMI E30-98
SECSⅡ SEMI E5-93
Recipe generator
Remote access capability
Light tower
Carrier ID, 12"
Safety shield, 12"
Light tower
HSMS Communication
Recipe generator
S3 Handler
Controller:
CPU: Pentium 4 3.0 GHz
Memory: 1.024 G Byte DRAM
(2) Hard Disk Drives (HDD): 80 GB missing
2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5xは、半導体製造業界の高いスループット、信頼性の高いデータを提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムを使用すると、誘電特性、材料組成、材料の均一性などのウェハ特性を迅速に評価し、手動での介入を最小限に抑えることができます。KLA ASET-F5Xモデルは、インラインメトロロジーまたは電気試験の一環として、さまざまな試験構造上のサンプルの誘電漏れ電流、抵抗、および容量を迅速かつ正確に検出および測定するように設計されています。このユニットは、99。99%以上の過剰ピル除去率で高速で信頼性の高い測定を提供します。強力なオンボードプロセッサが測定データを管理し、ユーザーはプリセットライブラリの一部として複数の試験治具や手順を保存できます。このデバイスは、コンパクトなベンチトップ設計で構築されているため、既存の半導体製造組み立てラインへの統合に最適です。このマシンは、高解像度のラジアルレーザーアライメントツール、プログラム可能な振動絶縁プラットフォーム、および効率的なウェーハの位置決めのための4輪モーター付きスピンドルテーブルを備えています。これにより、正確かつ再現性の高いサンプルの位置決めとアライメントが可能になり、アセットの周りにサンプルを移動するのに必要な時間が短縮されます。TENCOR ASET F 5 Xは、高性能機能に加えて、安全機能も充実しています。このモデルは、オペレータと機器ハードウェアの安全性を確保するために、完全な過電圧保護、ローカルインターロック、および短絡保護を提供します。また、モバイル非常停止ユニットと1ポイント接続のための統合された電源が付属しています。KLA/TENCOR ASET-F5Xは、高速で信頼性の高い正確なウェーハテストと計測を必要とするユーザーにとって理想的な選択肢です。業界をリードする安全機能とともに、優れたスループットと再現性を提供しているため、運用の合理化を目指す半導体製造施設に最適です。
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