中古 KLA / TENCOR ASET F5x #9291766 を販売中

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ID: 9291766
ウェーハサイズ: 8"-12"
ヴィンテージ: 2001
Film thickness measurement system, 8"-12" 2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5xは、信頼性が高く、高精度で超高速な結果をユーザーに提供するために特別に設計されたウェーハテストおよび計測機器です。これは、表面試験と光検査機能の組み合わせを提供しています、すべての単一の統合システム内で。ユニットの中心には、高度なKLA ASET-F5X光学装置があり、ユーザーは高い精度でターゲット表面の最高の画像を得ることができます。このツールは、特徴を検出し、区別するために高度な光学要素の組み合わせを利用し、ウェーハアプリケーションの広い範囲をサポートすることができる多くの機能を持っています。アセットには、ターゲットウエハの正確かつ再現可能な位置決めを可能にする高精度モーションモデルも搭載しています。この動作装置は、正確な速度と再現性でウェーハ表面を正確にスキャンし、プローブすることができます。これにより、スキャン結果が常に一貫して信頼性が高いことが保証されます。TENCOR ASET F 5 Xはまた、ターゲットウェーハの品質と完全性を評価するために使用できるさまざまな計測データをユーザーに提供します。これには、パーティクルカウント、パターン認識、表面粗さ、フォーカス、プロファイル、オートフォーカス、形状測定などの光学計測のデータが含まれます。さらに、ストレスや微小ひずみ測定などの材料特性評価に必要な情報をユーザーに提供することができます。最後に、KLA/TENCOR ASET F 5 Xユニットは、ウェーハに有害な粒子がないことを確認するために、さまざまな粒子検出および清浄度テストを実行することができます。これにより、ウェーハが必要な安全基準または品質基準を満たしていることが保証されます。KLA ASET F 5 Xは、迅速かつ信頼性の高い結果をユーザーに提供するオールインワンウェーハテストおよび計測ソリューションです。この機械はユーザーにウェーハの完全性を定めるのに使用される情報を提供する光学および計量学テストからの正確で、詳細な結果を与えることができる。さらに、このツールには高精度のモーションアセットが装備されており、ウェーハに不要な粒子がないことを確認するために、さまざまな粒子検出および洗浄試験を行うことができます。
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