中古 KLA / TENCOR ASET F5x #9263174 を販売中

KLA/TENCOR ASET F5xは、次世代の光学および音響技術を使用して、半導体ウェーハの包括的、高速、信頼性、費用対効果の高い試験および検査を行う高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ウェーハ上の欠陥を迅速に検出および測定するための複数のウェーハ形状およびプロセス設定に加えて、幅広い自動欠陥検査および計測機能を提供します。KLA ASET-F5Xは、レーザー散乱、散乱計測、光学コントラストイメージング（OCI）などの先進的な光学および音響技術を活用して、ラインエッジ粗度（LER）、線幅、オーバーレイ測定などの重要なアプリケーションに高分解能で再現可能な結果を提供します。本装置には、光学バックサイドとフロントサイドの両方の画像モードでウェーハとその処理層の高解像度画像を取得するための複数のカメラを搭載し、単一機能と欠陥の高解像度画像の顕微鏡検査を行います。また、優れた速度と精度で、さまざまな欠陥やプロセス関連の特性を検出することができます。これは、パーティクル、スリップ、ブレーク、ピット、ヒロック、ウェッジなどを識別できる洗練されたアルゴリズムによって達成されます。このツールには、ディープラーニングベースの自動欠陥分類器も組み込まれており、異常なパターンと構造欠陥を正確に識別することができ、プロセス制御に対する信頼性の高いフィードバックを可能にします。さらに、TENCOR ASET F 5 Xは、追跡可能な寸法測定、確率散乱イメージング、フルチップエリアスキャンのマッピング、重要なプロセスパラメータの計測など、多くの計測アプリケーションをサポートしています。この資産には、統合されたウェーハバッファリングとロボットウェーハハンドリングが付属しており、高速検査と計測の複数の実行を並列に実行できます。これにより、タイムリーかつ正確なデータ取得と評価が保証されます。KLA/TENCOR ASET-F5Xは、ウェーハテストと計測のための強力で汎用性の高いツールです。幅広いアプリケーションで高精度、高速、再現性を提供するとともに、プロセス制御フィードバックへの信頼性の高いアクセスを提供し、歩留まりを最適化します。また、包括的なテクニカルサポートとアプリケーションエンジニアリングにより、ユーザー固有のニーズをサポートします。