中古 KLA / TENCOR ASET F5x #9254566 を販売中
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ID: 9254566
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Film thickness measurement system, 8"
Cassette interface:
Open handler with (2) open cassette stations
PRI / EQUIPE Wafer handling robot with dual end actuator
BROOKS PRE-300B-CE Pre aligner
Main tool:
Spectroscopic Ellipsometer (SE)
Xe Xenon light source
D2 Lamp
Controller type: PC
Computer
Floppy drive: 3.5" (1.44 MB)
Castle wood drive: 2.2 GB
Color VGA monitor
Keyboard / Trackball
Facility requirements:
CDA
Vacuum
Power supply: 208 VAC, 8.5 A, Single phase, 3-Wire, 50/60 Hz
CE Marked
2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5xは、計測および欠陥レビュー用途向けに設計されたウェハテストおよび計測機器です。最新かつ最先端の検出システムにより、重要な欠陥検出性能を向上させます。このユニットは、包括的な欠陥検出と歩留まり向上のための重要かつ複雑な要件に対応するように設計されています。また、ウェーハテスト、計測、欠陥レビュー機能を幅広く提供するように設計されています。このマシンにはシーケンシャルスキャン技術が搭載されており、欠陥検査およびチューンアップツールとシームレスに統合されています。統合テクノロジーにより、プロセスのパフォーマンスが向上し、スループット時間が短縮されます。統合されたActive Optical Sensor (AOS)を搭載しており、最も困難な欠陥フィーチャーをキャプチャします。KLA ASET-F5Xは、既存および計画されているKLA/TECONイメージングシステムのソフトウェア機能を強化するために設計されています。また、既存の機器とシームレスに統合し、自動パッケージアナライザ、パッケージ応力測定、顔画像、再調整、および幅広い高度なスロット操作を提供します。ウェーハやフォトレジスト検査用の自動光検査ツールが付属しています。幅広い光学系およびサブシステムに接続できるように設計されており、ユーザーは現在および将来のテストおよび計測プロセスを構成、カスタマイズ、自動化できます。また、TENCORリアルタイムプロセス監視、KLA/TENCOR Auto Focus、 KLAフローベースの欠陥検出など、複数のソフトウェアツールもサポートしています。TENCOR ASET F 5 Xモデルは、テスト、計測、および欠陥レビューアプリケーションのための完全なソリューションを提供します。高度な検出技術と高いスループット速度を備えたこの装置は、ハイエンドの計測および欠陥レビュー用途向けに設計されています。幅広い自動ウェーハテスト、計測、欠陥レビュー機能を提供します。このシステムは、現在および将来のすべての世代のイメージング、検査、計測システムと連携するように設計されています。重要な欠陥検出性能を向上させ、スループット時間を短縮するように設計されています。
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