中古 KLA / TENCOR ASET F5x #9251592 を販売中

KLA/TENCOR ASET F5xは、故障解析、歩留まり管理、欠陥制御、デバイス特性評価、半導体デバイス開発、プロセス監視など、幅広いアプリケーションに最適なウェーハ試験および計測機器です。KLA ASET-F5Xは、10ナノメートルまでの集積回路のすべての層で測定を行うことができます。アスペクト比の高い複雑な形状から最も複雑な機能まで、今日の複雑な設計において、多目的で洗練された機能と重要な測定値の迅速な収束を提供するように設計されています。このシステムは、ウェーハの位置決めやスキャンのための高精度な3Dステージに接続された高解像度のイメージングユニットを使用して、特徴を検査および測定します。さらに、電気測定用の電気プローブステーションを接続することができます。試験片から最も信頼性の高いデータを得るために、TENCOR ASET F 5 Xには最先端の光学機器が装備されています。このツールは、被写界深度の向上、コントラストの改善、エッジ、サイドウォール、重要な機能の解像度の向上を備えた高解像度イメージングを提供します。この高度な光学アセットは、高度なカラーイメージング技術、パルス励起技術、色強化アルゴリズムなどの技術を可能にします。さらに、KLA/TENCOR ASET-F5Xは、画像処理および測定ソフトウェアを使用して、サイズと形状、フィーチャーコントラスト、欠陥または欠損した粒子、バンプ、およびその他の詳細などの結果を迅速に分析および報告します。このモデルには、効率と精度を最大化しながら手動での介入を最小限に抑えるように設計された統合オートメーションフレームワークもあります。このフレームワークにより、ユーザーは自動ウェーハ検査シナリオと測定を作成、保存、実行できます。これらのシナリオは、特定の機能のカスタム測定を含むように拡張することもできます。さらに、KLA ASET F 5 Xは完全な環境制御を備えています。これには、ウェーハテーブルおよびイメージング部品の温度制御、湿度制御、および光制御が含まれ、すべて結果の精度を保証します。全体として、KLA ASET F5xは高度で洗練された機器であり、企業や組織が複雑な集積回路設計を完全に分析、検査、測定することができます。故障解析、歩留まり管理、欠陥制御、デバイス特性評価、半導体デバイス開発およびプロセス監視に最適なさまざまな機能と機能を提供します。