中古 KLA / TENCOR ASET F5x #9240546 を販売中
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販売された
ID: 9240546
ウェーハサイズ: 8"-12"
ヴィンテージ: 2003
Film thickness measurement system, 8"-12"
8" Conversion: Insert type
Data transfer: Floppy disk / DVD R/W
Operation: Mouse & keyboard
Emergency button cover: Recessed type
Door interlock
Recipe auto backup
Auto data deletion
Auto error log file save & classification
Queued loading (Queue recipe)
Operating system: Windows XP
Spectroscopic ellipsometer
Spectrometer
Wavelength of light source: 220~800 nm
Spot size for thickness & RI: < 40μm
Spot size for reflectivity: < 40μm
Mapping function: 2D & 3D
Pattern recognition
Recipe copy with film library
SE & DBS Optics
Optic lens: 1x, 2x, 4x, 15x
Pattern score: FA
Location screen: Visualize on one screen
Pattern recognition image / Measurement site save
Spectrum save function (Save all at once)
Spectrum save and auto deletion (Save everything, Hard Disk Drive (HDD))
Recipe / Library import: On-time intromit at TCP/IP
AMHS
Project
Signal tower
Wafer breakage: ≤ 1/100,000 Cycles
S3 Handler
Options:
GEM SEMI E30-98
SECS II SEMI E5-93
Recipe generator
Remote access capability
Light tower
Carrier ID, 12"
Safety shield, 12"
Light tower
HSMS Communication
Recipe generator
S3 Handler
Controller:
CPU: Pentium 4 3.0 GHz
Memory: 1.024 G Byte DRAM
(2) Hard Disk Drives (HDD): 80 GB
2003 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5xは、ウェーハ試験および計測に使用されるマルチセンサー計測機器です。シリコン、金属層、有機層など、ウェハサンプル内のさまざまな層の信頼性と正確な測定を提供するように設計されています。そのマルチコンポネント検出技術は、テストサンプルの電気特性と物理構造を測定するために使用されます。システムは多軸プラットフォーム、高解像度ステージ、高品質のイメージングユニットで構成されています。多軸プラットフォームは、サンプルウェーハを高速で高精度に動かすことができるため、試験機は多種多様なデータを素早く収集することができます。高分解能段階は高精度であり、ウェーハの特性をナノメートルレベルまで測定することができます。イメージングアセットは、試験サンプルの特徴を検出するために光学技術を使用しており、ウェハテスターはサンプルの構造を洞察することができます。KLA ASET-F5Xは最高レベルの機能性を念頭に置いて設計されています。使いやすく、ユーザーフレンドリーなWebベースのインターフェイスと自動化されただけでなく、手動のテストプロセスを使用できます。このモデルは、強力なアルゴリズムと正確な計測により、数分以内に高精度の測定を行うことができます。また、リアルタイムフィードバックを備えているため、エンジニアはリアルタイムでデータを監視し、テストプロセスをリアルタイムで調整することができます。TENCOR ASET F 5 Xは、電子顕微鏡などの高度な顕微鏡技術と従来の光学イメージングを利用して、試料の画像を作成します。顕微鏡技術はサンプルの特性に関する詳細な情報を提供し、光学イメージングによりサンプルの特性を非侵襲的に測定することができます。これにより、テストウェーハ内のさまざまなパラメータで正確な測定値を効率的に収集できます。この装置は、高い堅牢性と信頼性を備えているため、高いスループットの試験と正確な結果を得ることができます。また、高性能のために設計されており、高解像度の測定と精度の向上を可能にします。このユニットは、半導体および電子機器のテストに最適なソリューションであり、さまざまなウェハアプリケーションに高速で信頼性が高く正確なデータを提供します。
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