中古 KLA / TENCOR ASET F5x #9240202 を販売中
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ID: 9240202
ウェーハサイズ: 8"
Film thickness measurement system, 8"
Open cassette, 8"
Spectroscopic ellipsometer
Dual-beam spectrometer (DBS)
Xenon light source: Wavelength range 220 nm to 800 nm
DBS Spot sizes: 2.7 um, 10 um, 40 um
Pattern recognition (PatMax)
2.8-GHz Pentium-IV Star bright computer
Hard drive: 80-Gb IDE
DDR RAM: 512-Mb
Ethernet PCIA card: 10 Base-T and 10 Base-100 communications protocol
Operating system: Windows XP
Flat-panel display: 17-inch color LCD
Keyboard and trackball
DVD / RW Drive and Floppy disk drive, 3.5"
DVDR / RW Blank diskette
Start-up kit
Modular wafer handler
With dual open cassette back of cabinet
Standard SE
Pattern recognition patmax
Platen single finger, 200 / 300
P4 Computer, 2.8 GHz
PCA, Matrox orion, Frame Grab, PCI
220 V, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR ASET F5xは、半導体産業に特化した高性能ウェーハ試験および計測機器です。ウェーハの正確で信頼性の高い測定、加工、特性評価を提供するさまざまな機能を提供します。システムは、モジュール式ウェーハステーション、ウェーファーハンドラー、デスクトッププロセッサ、ディスプレイで構成されています。KLA ASET-F5Xのウェハステーションは、プロセスレシピに高い密着性を持つ自動ウェハハンドリングユニットです。複数のウエハサイズに対応できるように設計されているため、さまざまな製造手順に簡単に適応できます。機械はまた遠隔にアクセスすることができますそれをリモート・プロセス制御のために理想的にさせます。独自のウェーハンドラー機能により、ウェーハの迅速なロードとアンロードが可能です。これにより、ツールは迅速に動作し、スループットと精度を最大化できます。この機能により、ユーザーは幅広い自動または手動のウェーハ処理オプションから選択することができます。さらに、ウェーハ表面から最大6mmの厚さのデータを収集することができます。デスクトッププロセッサは、収集されたデータを分析する直感的なインターフェイスと処理能力をユーザーに提供します。このプロセッサには、データ管理のためのフレンドリーで使いやすい環境を提供するオンボードグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)が含まれています。データ収集とデータ解析のために組み込まれたモジュラーアーキテクチャは、高精度のウェーハ解析を実現するために、ハイエンドの信号処理技術を利用しています。TENCOR ASET F 5 Xの表示は、ユーザーに広い視野を提供します。これにより、プロセス測定のライブビューを表示することで、ウェーハテストと計測プロセスをすばやく監視できます。ディスプレイにはオプションのタッチスクリーン機能も搭載されており、モデルのメニューや設定とインタフェースする際に、より多くの制御と柔軟性を可能にします。TENCOR ASET F5xは、精度と性能と使いやすさを兼ね備えた包括的なウェーハテストおよび計測機器です。モジュラーアーキテクチャ、使いやすさ、幅広いウェハハンドリング機能を備えたASET F5xは、半導体製造プロセスに最適です。
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