中古 KLA / TENCOR ASET F5x #9232878 を販売中
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ID: 9232878
ウェーハサイズ: 8"
Film thickness measurement system, 8"
Dual cassette open handler
Wafer handling, 6"
Wafer handling with handler charge, 12"
Spectroscopic ellipsometer
Pattern recognition
Operating system: Windows XP
Computer: Pentium 1.25 GHz
SCSI Hard drive: 80 GB
DRAM: 1 GB
Flat panel LCD display
Keyboard & trackball
Multi layer film capacity
Micro spot optics
Scanning stage
Wafer mapping
In-situ capability
Controller type: PC / VME
Operator manual
DBS Spot sizes: 2.7, 10, 40 um
XENON Light source
Wavelength range: 220 nm to 800 nm.
KLA/TENCOR ASET F5xは、半導体、メモリ、データストレージ、オプトエレクトロニクス、ディスプレイ、フォトマスク産業など、幅広い業界の高度なプロセス制御用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ウェーハ試験および計測において高精度かつ再現性を提供し、欠陥検査と解析の自動化を可能にします。F5xユニットは、光学フォーカス/デフォーカス、表面粗さ、スペクトル反射率、CD/幅、オーバーレイ、不透明なマスク欠陥、エッチングされたステップ高さ、および材料分析など、360°非接触、ビジョンベースの計測および試験ソリューションを内蔵しています。高度なデジタル光学、精密光学、モーションボード、ビームコンバイナ、パターン認識技術、画像解析技術を使用して、サンプルウェーハの正確な分析を容易にします。さらに、最新の半導体生産制御ツール(SPCS)とX線技術を搭載し、正確なリアルタイム測定と制御、パターン認識と誤り訂正機構を完全に自動化しています。これは、欠陥検出を最大化し、誤報を最小限に抑えるのに役立ちます。KLA ASET-F5Xは、高速、再現性、および所有コストの低い、大量のウェーハ試験および計測に適しています。その直感的なユーザーインターフェイスは、運用要件を満たすように調整することができ、英語、日本語、韓国語、中国語、ドイツ語など、さまざまな言語をサポートしています。この資産のクラス最高の性能と堅牢性は、さまざまな計測アプリケーションと品質管理ニーズをサポートすることが証明されています。これにより、お客様は最高レベルのプロセス管理を維持し、製品の品質を確保し、安定した生産環境を提供することができます。
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