中古 KLA / TENCOR ASET F5x #9229841 を販売中

KLA/TENCOR ASET F5xは、半導体ウェーハのコスト効率、高スループット、正確な測定を提供するウェーハ試験および計測機器です。これにより、生産プロセスのパフォーマンスと歩留まりを迅速かつ正確に分析できます。このシステムは、光学イメージング、計測、欠陥レビューなど、複数のサブシステムで構成されています。光学サブシステムは、ウェーハ上の欠陥の優れた解像度と検出を提供する、包括的な最先端のディスプレイ技術を利用しています。高量子効率CMOS型（チャージカップリングデバイス）センサを採用し、バックグラウンドノイズレベルを向上させ、精度とコントラストを向上させます。また、光学イメージングとともに、画像解析アルゴリズムを独自に組み合わせて分類を最適化し、潜在的な欠陥を検出します。計測サブシステムは、重要なデバイスパラメータを高精度に測定します。広い領域からサンプリングし、ウェーハサイズと厚さの範囲のスループットを評価することができます。このマシンは、優れたウェハマッピングだけでなく、フルフィールドイメージングを使用してウェハの特定の領域を詳細に特徴付ける機能も提供します。欠陥レビューのサブシステムには、高度な画像品質メトリクスと統計的欠陥検証テクニックが統合されており、潜在的な問題を正確に特定して分類するのに役立ちます。欠陥タイプ、傾向、発生、地域、起源、および場所の完全な分析を提供することができます。このサブシステムはまた、テストレシピを効率的に管理および精製するための強力なソフトウェアソリューションを提供し、潜在的な問題が迅速に特定されるようにします。結論として、KLA ASET-F5Xウェーハテストおよび計測ツールは、半導体ウェーハの信頼性、正確性、費用対効果の高い測定を提供する先進的な機器です。この資産は、生産プロセスの効率的な制御、廃棄物の削減、および歩留まりの改善を可能にします。高精度なイメージング、計測、欠陥レビュー機能により、あらゆる半導体製造設備にとって非常に貴重なツールとなります。