中古 KLA / TENCOR ASET F5x #9182371 を販売中

ID: 9182371
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
Film thickness measurement system, 8" 2000 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5xは、最新のウェーハ試験および計測機器で、今日の高度な半導体デバイスの物理特性を測定するように設計されています。その高度な光学およびイメージング機能により、特徴サイズ、地形高さ、幅、欠陥密度および位置などのパラメータを検出および正確に測定できます。この強力なシステムは、大量のサンプルを迅速に効率的に分析し、デバイスの製造と信頼性を確保するための高度な分析を提供します。KLA ASET-F5Xは、サンプルウェーハのイメージングに光学顕微鏡を使用しています。この顕微鏡には、さまざまな種類の作業用レンズが搭載されており、最も適切な倍率と解像度を選択することができます。さらに、電動サンプルステージにより、事前設定された高さと深さでのサンプルの独立したX軸およびY軸スキャンが可能になります。TENCOR ASET F 5 Xには、さまざまな欠陥を検出するアルゴリズムを使用した高度な自動検査技術が組み込まれています。これは、人間の介入を最小限に抑えて、バンプ、オープン欠陥、ピット、傷、マイクロクラック、およびその他の構造を検出することができます。3次元(3D)形状検出機能により、欠陥がウェーハ上に正確に配置され、結果が保存され、正確に提示されます。F5xは、最先端の校正および測定機能を備えた高度な計測ユニットです。ウェーハの形状を正確に測定し、詳細な地形図やデータを提供することができます。その高精度な測定機能は、抵抗走査レーザー干渉計(RSLI)と呼ばれる独自の三角測量法に基づいています。この方法は、1ナノメートルまでの欠陥の存在を迅速に検出します。KLAは、人間工学と使いやすさを念頭に置いてKLA/TENCOR ASET F 5 Xを設計しました。機械はユーザーが緊張なしで操作を監視することを可能にする明るく、明確なLCDスクリーンの範囲を含んでいます。このツールはまた、多数の機能や機能に簡単にアクセスするための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えています。全体として、KLA ASET F 5 Xは印象的なウェーハテストと計測資産です。これは、自動欠陥検出、地形測定、高度な計測など、豊富な高度な機能と機能を提供します。ユーザーフレンドリーなデザインと直感的なGUIにより、ウェーハテストと計測のための強力でシンプルなツールとなります。
まだレビューはありません