中古 KLA / TENCOR ASET F5x #293826779 を販売中
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ID: 293826779
ウェーハサイズ: 12"
Film thickness measurement system, 12"
DBS and SE
Lens: 1x, 4x, 15x
Automated wafer loading/unloading
FOUP Handler and processor
FOUP Loading and unloading port
Controlled XY stage
Wafer breakage rate: <1 per 25,000
Diameter: 300±2.0 mm
Thickness: 775 ±20 μm
Edge exclusion: 1.5 mm
Wavelength: 220 to 780 mm
SEMI and CE Certification
LCD monitor
PC.
KLA/TENCOR ASET F5xは、半導体デバイスの生産速度、精度、歩留まりを向上させるために設計された自動ウェーハ試験および計測装置です。このシステムは、ウェーハのすべての領域を検査し、その正確な寸法を測定することができ、生産の迅速な調整を可能にします。また、デバイスの導電率、均一性、平坦性を測定するなど、テストパターン実行やその他の計測機能を実行します。KLA ASET-F5Xは、高精度のスキャンステージを使用して、高い精度でウェーハを検査および測定します。ステージはx方向とy方向の両方でウェーハを移動させることができ、エリア全体を完全にカバーすることができます。ステージは回転位置決めも備えており、ユニットは3次元デバイスジオメトリを測定することができます。ステージはブラシレスモーターによって駆動され、高精度と制御で非常に迅速かつスムーズな変換を提供します。機械はまた点検およびテストプロシージャの厳密なカスタマイズを可能にする高度ソフトウェアを特色にします。これには、自動画像認識、パターン識別、およびウェーハ/デバイスのテストが含まれます。ソフトウェアはまた、データを追跡し、詳細な生産レポートを作成することができます。TENCOR ASET F 5 Xは、精度と速度が不可欠な大量生産環境で使用するために設計されています。遠隔または手動で制御でき、ジャム/サーマルセンサーや過熱/電圧保護などの多数の安全機能を備えています。また、このツールは非常に信頼性が高く、費用対効果が高いため、あらゆる生産設備に最適です。
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