中古 KLA / TENCOR ASET F5 #293827457 を販売中

KLA/TENCOR ASET F5は、半導体生産ライン用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。直径12インチまでのウェーハの特性を迅速かつ正確に測定、検査、分析できます。このシステムは、テストおよび計測操作の潜在的な正確性と柔軟性を高めるための一連の技術、プロセス、およびソフトウェアプログラムを提供します。基板レベルから個々のデバイスの検査と特性評価まで、KLA ASET-F5はスループットと精度の両方で比類のない性能を提供します。そのウェーハ検査および計測機能には、High-NA 3D光学およびCD-SEM機能、パターン認識技術のためのOBIRCH（光学ビーム誘導抵抗変化）、および低k誘電体層計測が含まれます。TENCOR ASET F 5は、特許取得済みのKLA Xスキャンテクノロジーを使用してウェハサンプルから画像をキャプチャし、最も過酷な環境条件下でも優れた再現性を実現します。また、ハイエンドの光学パッケージと最新のソフトウェアを備えており、正確な画像処理と正確な3D再構築を提供します。さらに、信頼性の高いウェハハンドリングを保証するための正確なオートメーションと、ISOクラスの4クリーンルーム条件を維持するクリーンガス注入エンクロージャを備えています。このツールはまた、マスクとベアウェハの両方の検査のための正確なアライメントとサンプルマウントのためのデュアルステージサンプル位置決めアセットを備えています。ウェーハメトロロジーモデルには、カスタマイズ可能なサンプル準備ステーションも装備しています。これには、クリーニング、リフター、サンプルホルダー、およびさまざまなウェハレベルパッケージングおよびCMPツールなどのさまざまなサンプル準備ツールが含まれます。これにより、ユーザーは特定のアプリケーションに最適な準備ツールを選択できます。最後に、この機器には強力なデータ分析ツールが含まれています。これにより、ウェーハ検査および計測ツールによって生成されたすべての画像およびデータの処理、可視化、分析が可能になります。このソフトウェアツールは、ウェーハの品質とプロセスのパフォーマンスを実用的に把握できるだけでなく、包括的な是正措置のためのプラットフォームも提供します。KLA/TENCOR ASET-F5は、半導体生産ラインに比類のない性能、精度、柔軟性を提供する高度なシステムです。包括的な機能と機能を備えたこのユニットは、ウェーハテストと計測のための貴重なツールです。