中古 KLA / TENCOR ASET F5 #293825602 を販売中
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ID: 293825602
ウェーハサイズ: 8"-12"
ヴィンテージ: 1999
Film thickness measurement system, 8"-12"
Wafer holder and chuck
Robot and handler
Laser
Blower unit
Card cage and board
Cassette type: F5W
PC
1999 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5は、ウェーハ性能を非常に小さなレベルでテストするために設計されたウェーハ試験および計測機器です。高度なAFM （Atomic Force Microscopy）と電気試験機能を組み合わせ、重要なデバイスパラメータを包括的に表示します。このシステムは、10nm解像度の範囲まで機能を検査することができ、統合テストソリューションの完全なスイートが装備されています。KLA ASET-F5ユニットは、高精度のパフォーマンス結果を提供することを可能にするいくつかの主な機能を提供しています。これらの特徴の最初は高度なイメージング機能であり、機械は顕微鏡レベルで特徴の明確で詳細な画像を撮ることができます。このイメージングツールは、可変焦点、全方向、動的スキャンプローブなどの幅広いAFMプローブを使用して、さまざまなアプリケーションに最適な画質を保証します。また、高解像度のイメージングアセットにより、高感度の測定も可能です。TENCOR ASET F 5には、幅広い電圧、電流、抵抗、および静電容量試験を含む強力な電気試験機能も含まれています。高度な電気試験モデルは、ハードウェア、ソフトウェア、および校正ツールを組み合わせて、ウェーハの性能を評価する際に正確で信頼性の高い結果を保証します。摩耗および汚染のテストの点では装置は非常に反復可能な結果を提供します。肉眼では見えない欠陥を検出することができ、また、統合されたTDR （Time Domain Reflectometry）トレース上で、プローブに接触する力を10um以下に測定することができます。また、粒子解析の高度な機能を備えており、粒子の検出と同定を2nmまで可能にし、粒子汚染の環境影響を評価することができます。TENCOR ASET-F5は、スタンドアロンユニットとして、または他のシステムとの統合として自動運転用に設計されています。これは、調整可能なタイムアウト設定とRS-232通信プロトコルを備えています。機械に0から50°Cの広い動作範囲があり、任意動力を与えられた冷却モジュールによって中断のない15時間以上の操作を達成することができます。TENCOR ASET-F 5は、強力で包括的なウェーハテストおよび計測ツールで、ウェーハパフォーマンス評価のための多彩なイメージングおよび電気テスト機能を提供します。その自動運転と強力なAFMおよび電気試験機能により、半導体や材料科学から研究開発まで、さまざまな業界に最適です。
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