中古 KLA / TENCOR ASET F5 #293812633 を販売中

KLA / TENCOR ASET F5
ID: 293812633
ウェーハサイズ: 8"
Thin Film measurement system, 8".
KLA/TENCOR ASET F5は、KLAによって設計および製造された高度で包括的なウェーハ試験および計測機器です。高解像度イメージングと光顕微鏡の両方を備えており、ウェーハ表面の高度な検査とウェーハ特性の高度な測定を可能にし、現代の半導体製造プロセスのさまざまな要件を満たします。KLA ASET-F5システムには、自動スキャンおよび検査のための多軸ステージ、イメージングおよび計測のための動的光学パートナー、焦点深度を制御するためのオートフォーカス装置、ウェーハの3D形状を測定するための干渉計など、いくつかの重要なコンポーネントが含まれています。統合されたソフトウェアパッケージは機械を制御することを容易にし、ユーザーがすぐにウエハを分析し、点検することを可能にします。また、ウェーハベクトルモジュールを備えており、ベクトルデータを外部システムにエクスポートして、ウェーハ上の欠陥のマッピングを可能にします。このアセットは、軽い散乱技術と暗いフィールド技術の両方を組み合わせて、異物、転位、およびサブサーフェスの損傷を含む幅広い欠陥を検出することができます。さらに、TENCOR ASET F 5には複数の画像処理ツールがあり、欠陥の特定と分離に使用できるため、迅速かつ正確な解析が可能です。KLA/TENCOR ASET-F5には、ウェハ関連データの構造化されたストレージと検索を可能にする強力なデータ管理モデルも含まれています。ウェーハジオメトリ、材料特性、ウェーハ固有の結果など、さまざまなデータを保存します。データは、レポートを生成するためにユーザー定義の基準に従って分析および分析することができます。レポートを使用して、ウェーハに関する情報に基づいた意思決定を行うことができます。最後に、システムにはプラットフォームの不可知性インターフェースが装備されており、幅広いコンポーネントとインターフェイスタイプと互換性があります。これにより、ユーザーはKLA/TENCOR ASET F 5ユニットを既存の生産ラインに統合できます。また、カスタマイズされた温度制御やさまざまなレベルのオートメーションなど、さまざまなユーザーフレンドリーな機能を備えているため、どのような環境でもユーザーフレンドリーで使いやすいです。全体として、KLA ASET F5は、最新の半導体製造プロセスの高度で包括的な試験および計測に最適なツールです。このアセットには、いくつかの主要コンポーネントと強力なデータ管理モデルが含まれており、データを簡単に分析し、他のシステムとシームレスに統合できます。プラットホームの不可知性インターフェイスはそれをあらゆる生産ラインのための適した選択にする部品およびインターフェイスのタイプの広い範囲と互換性があるようにします。
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