中古 KLA / TENCOR ASET F5 #293605775 を販売中
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ID: 293605775
ヴィンテージ: 2000
Film thickness measurement system
Single open cassette, 8"-12"
DUV Lamp
Summit 5.2
DBS SE
PatMax
Operating system: Windows XP
2000 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5は、集積回路の高いスループットと正確な解析のために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、光学検査、欠陥レビュー、およびその他のさまざまなテストを実行することができます。KLA ASET-F5は、大量のウェーファーファンドリーおよび高度な半導体デバイス製造施設での歩留まりを最大化するように設計されています。このユニットは、TruMap光学検査機やAlphaStep Surface Metrologyなどの最新技術を利用しています。TruMapツールは、高解像度の光学系を使用してウェーハを「トラッピング」することで、トップレベルおよび高アスペクト比の欠陥の欠陥検出と認識を可能にします。TruMapはまた、非常に効率的な欠陥レビュープロセスを可能にします。AlphaStep Surface Metrologyは、抵抗やシート抵抗などの物理パラメータを測定します。これは非破壊的で非接触的な方法で行い、ウェーハの特徴パターンをより正確に表現します。ウェーハ抵抗とシート抵抗の測定を切り替えることができ、柔軟性と精度を高めることができます。TENCOR ASET F 5モデルには、欠陥レビュー用の高解像度イメージング装置も含まれています。このシステムは、迅速なレビューと欠陥の識別を可能にします。このユニットには、狭帯域イメージング、ラインスキャンイメージング、フルウェハマッピング、欠陥方向マップなどの機能が含まれています。これらの機能はすべて、ユーザーにウェーハとその表面の完全なビューを提供します。このマシンには、高精度の歩留まり監視ツールもあります。このアセットモニタはプロセスごとに生成され、デバイスの潜在的な障害や問題を早期に警告することができます。歩留まり監視システムは、高い歩留まりとデバイス品質を確保するために、プロセスを維持および最適化するために非常に重要です。最後に、ASET-F 5モデルにはセキュアイベントレコーダーも含まれています。このレコーダーは、すべてのウェーハテストおよび計測操作の記録を保持するために使用でき、ユーザーはデバイスまたはプロセスの問題を追跡し、品質の高いデバイスだけが製造されていることを確認することができます。要約すると、KLA/TENCOR ASET F 5は、集積回路の高いスループットと正確な解析を目的に設計されたウェーハ試験および計測機器です。TruMap光学検査、AlphaStep Surface Metrology、高解像度イメージング、セキュアなイベントレコーダーなどの最新技術を活用しています。このシステムは、高い歩留まりとデバイス品質を実現するための包括的なプラットフォームを提供し、製造メーカが大量のウェハファウンドリで歩留まりを最大化することを可能にします。
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