中古 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9361397 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step IQは、ウェーハ表面のフィルムを高精度に測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、特許取得済みのデュアル波長干渉計の設計に基づいており、パターン化されたウェーハまたはパターン化されていないウェーハ上の低屈折率および高屈折率のフィルムを正確に測定できます。KLA Alpha Step IQは、特許取得済みのデュアル波長光干渉技術を使用し、2つの近赤外波長を組み合わせてサブナノメートルフィルムの厚さを測定します。このユニットは、誘電体、フォトレジスト、反射防止コーティング、薄い金属膜など、さまざまなタイプのフィルムに最適化されています。TENCOR ALPHASTEP IQは、高精度の非接触解析を生成するため、従来の接触計測技術に比べて重要な利点を提供します。このマシンのプロセスモニターモードは、ウェーハの表面をリアルタイムで検査し、欠陥や偏差を特定します。TENCOR Alpha Step IQの低騒音と高精度により、トレース汚染の検出や表面粗さのプロファイリングにも最適です。Alpha Step IQは、優れた再現性、ウェーハ間ウェーハ、ツール間のツールを提供します。これにより、ユーザーは一貫性のある測定を得ることができ、頻繁な校正が不要になります。これにより、高精度な測定を維持しながら、検査の時間とコストを削減できます。このツールは汎用性の高いウェーハテストプラットフォームであり、さまざまな開発、分析、レビュー機能を提供し、ユーザーに究極の柔軟性を提供します。KLA ALPHASTEP IQは、3Dラインプロファイル、クリティカルしきい値カーブ、欠陥特性評価レポートを提供できます。これらにより、ユーザーはデバイスの問題を迅速に診断し、製造プロセスを最適化できます。ALPHASTEP IQは、ラボ環境や生産ライン環境で動作するように設計されたコンパクトなツールです。フィルムを測定するための費用対効果の高い資産であり、ユニークな設計とプレミアムコンポーネントにより、信頼性が高く、信頼性が高く、正確なウェーハテストと計測プラットフォームとなっています。