中古 KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9229842 を販売中

KLA/TENCOR Alpha Step IQは、半導体ナノリソグラフィの高度なプロセス制御用に設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。これは、最新の半導体製造プロセスに必要な品質レベルを満たすことを保証する多数の強力な機能を備えています。KLA Alpha Step IQはイメージングベースのシステムで、ユーザーはナノメートルの解像度で完全なウェーハ表面の画像を作成できます。ウエハの上面と底面の両方を検査するために、特殊なビーム配送およびイメージングアクセサリーによって促進される高いNA（数値開口）光学を利用しています。このユニットは、サブミクロンの特徴から、より大きなトレンチやその他の構造まで、さまざまな特徴を検出できます。スキャンヘッドはX-Yサーボ制御モーターステージによって移動され、さまざまなウェーハ形状の特徴を測定および分析する印象的な能力をユーザーに提供します。このマシンは、アスペクト比、クリティカル寸法、ライン幅の粗さ、サイドウォール角度など、ウェーハ表面に関連する多数の重要な指標を測定することができます。これらのデータポイントは、ユーザーインターフェイスを介してグラフィカルに表示されるか、ウェーハサーフェスの3Dマップを作成するために使用されます。高度な分析も利用可能で、高さ、角度、およびその他の機能のサブミクロン変動を検出することができます。多くの追加機能により、TENCOR ALPHASTEP IQは真に強力なウェハテストおよび計測ツールとなります。イメージング機能は、マップベースの解析やオートフォーカスなどのポストプロセスオプションで強化される可能性があります。さらに、画像データは、ポスト分析のためにキャプチャして保存することができます。このアセットには、精度を向上させる自動ウェーハアライメント機能も含まれています。全体として、KLA ALPHASTEP IQは、プロセス制御および半導体ナノリソグラフィに最適な高度なウェハテストおよび計測モデルです。イメージング機能と分析機能の強力な組み合わせにより、さまざまなウェーハジオメトリで幅広い機能を検出できます。さらに、自動化されたアライメント機能と後処理オプションにより、分析の精度と精度がさらに向上します。